顧客重視

ほとんどの顧客は、技術的に実現可能な限界で働いています。 半導体産業や、高エネルギー物理学や宇宙の構成要素の探索などの科学分野です。 これには、VATがその技術ソリューションを常に新しい提案をする必要があります。 そのため、VATは、研究開発作業に高い優先順位を与えるために早期に開始しました。 その統合された部分は、開発プロジェクトにおける顧客との緊密な協力、および科学界とのグローバルな協力でもあります。 これにより、次の結果が得られました。

  • 100を超える真空バルブの基本特許

  • 真空バルブの製造と準備に適用される多数の特許

研究開発重視

新しいソリューションとテクノロジーの開発は、VATの使命の中心です。 当社の起源は、半世紀以上前に始まった一流の研究機関との緊密な協力にあります。 今日の私たちの研究開発目標は今でも同じです。

  • パーティクル発生と活性化の防止

  • 極端なプロセス条件下や攻撃的なプロセスでも、絶対的な信頼性

  • 最小の公差を満たす最適で正確な制御

VATテクノロジー

イノベーションとパフォーマンスの提供

以下の技術革新の例は、VATが近年開発した研究パートナーや業界顧客向けのソリューションの幅を示しています。

VATLOCK

ゲートシール部の摩擦をなくし、確実なシーリングを実現するVATのVATLOCK技術。VATLOCKの大きな特徴は、閉位置での機械的ロックにより、圧空機器の故障による真空損失のリスクを排除しています。

ロックの手順は、板バネ止めがボディに達すると同時に始まります。ボールリテーナがボールの対の凹みから押して、バルブゲートとカウンタープレートは押し広げられ、シールは摩擦なくにシートに押し付けられます。ボールは、差圧がいずれかの方向からかかっても、、シール力が増加するように配置されています。

MONOVAT

モノバットの技術では、三次元構造のゲートとシートにより、ロックとシーリングの直線的な動作で行います。この真空ゲートバルブ用の焼付シールシステムは、非常に長いサイクルの間、パーティクルフリーやショックフリーで動作できます。

VATTERFLY

一見すると、ゲートの単純な回転運動を特徴とするバタフライバルブと間違えてしまいます。しかし、VATTERFLY バルブでは、この典型的な回転運動と実際の閉止運動が分離されています。まず、ゲートの回転運動がシールの摩擦なしに行われ、次に特許取得済みのクランク機構による個別の旋回運動が行われ、バルブの閉止とロックが行われます。

VATRING

このオールメタルシール方式は、比較的小さな閉めつけ力や軸方向の力で大きなシール力を得ることができます。シール材には錆びないスチールが使用され、変形はあくまで、弾性変形の範囲内にとどまります。VATRINGシステムは極高真空状態に適しています。クリーンな使用環境では、100,000サイクルの長寿命を実現しています。また、開状態で、450℃、閉状態で、350℃までの熱に耐えることができます。

原文の耐熱温度の記述が間違えています。両方向450℃ではないので、注意ください。

VATSEAL

この特殊設計のメタルフランジシールは、適切なフラットシール面をもつ平行フランジに使われます。丸型、楕円型、長方形、またはカスタムなど、形状の選択が自由です。

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導入事例