電子顕微鏡、計測、検査、欠陥のレビュー
電子顕微鏡、計測、検査、欠陥調査の分野で使用される真空環境の制御には、理想的な最小構造の高精度真空バルブ技術が必要です。VATは、この分野におけるカスタ...
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フェイルセーフ保護機能を備えた正確な手動/自動ベント
最新のベントバルブに求められるのは、信頼性が高く、正確で、高速に作動するベント機構です。また、様々なプロセスや設置条件に対応できるような構成を可能にするモジュール方式も重要です。
ベントバルブSERIES 21.3は、真空システムのほぼすべての排気要件に対応できるように設計されています。このシリーズは、信頼性が高く、長期間にわたって整備しなくても作動するように設計されており、手動と自動の両方のアクチュエーションに対応しています。
特に電磁アクチュエータによる自動タイプは、その特殊な構造が目を引きます。フィードスルーがなく、アクターが封止装置として完全に密閉されているので、シャフトフィードスルーを備える通常のバルブのような整備を必要とせず、非常に高速な動作が可能です。また、漏れのリスクもありません。
自動タイプでは、停電時に反応するフェイルセーフ機構も備えています。プロセスと設置の両方の要件に対応できるように、この機構には、フェイルセーフ時に閉じる構成と開く構成（NCまたはNOバージョン）があります。
手動式
電磁作動式：
単動シリンダースプリングによる閉動作 (NC)
電磁作動式：
単動シリンダースプリングによる開動作 (NO)
SERIES 21.3の動作圧力範囲は1×10-8 mbar～1.2 bar（abs）で、ガス流量は50 l/14秒（手動）、100 l/30秒（NCバージョン）、50 l/270秒（NOバージョン）です。
プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 21.3は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。
ベントバルブSERIES 21.3の主な特徴
特徴：
- 高速作動
- 開位置または閉位置の電源フェイルセーフ
メリット：
- 長期間にわたって整備不要
- モジュール方式
- 低コスト
技術データ
| 手動式 | 電磁式 スプリングによる閉動作（NC） |
電磁式 スプリングによる開動作（NO） |
||
|---|---|---|---|---|
| サイズ | DN 10 mm (⅜") | DN 10 mm (⅜") | DN 10 mm (⅜") | |
| アクチュエータ | 手動式 | 電磁式 スプリングによる閉動作（NC） |
電磁式 スプリングによる開動作（NO） |
|
| ボディ素材 | アルミニウムおよびステンレス鋼 | アルミニウム | アルミニウム | |
| 標準フランジ | ISO-KF | ISO-KF | ISO-KF | |
| 漏れ率 | バルブ本体、バルブシート | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | < 1 × 10-7 mbar ls-1 |
| 圧力範囲 | 1 × 10-8 mbar～1 bar (abs) | 1 × 10-8 mbar～1 bar (abs) | 1 × 10-8 mbar～10 bar (abs) | |
| プレートにかけ得る許容最大差圧 | 閉方向 開方向 |
– – |
10 mbar 1 mbar |
– – |
| バルブを開けるときの許容最大差圧 | 閉方向 開方向 |
– – |
2 mbar 1 mbar |
– – |
| 第1回サービスまでのサイクル数 | – | 150万 | 300万 | |
| 許容温度 | アルミニウムバルブ本体 ステンレス鋼バルブ本体 |
0～80 °C 0～120 °C |
5～40 °C – |
5～50 °C – |
| 材料 | アルミニウムバルブ本体 | EN AW-6023 (3.0306) | EN AW-6082 (3.2315) | EN AW-6026 |
| ステンレス鋼バルブ本体 | AISI 303 (1.4305) | – | – | |
| プレート：アルミニウムバルブ ステンレス鋼バルブ |
EN AW-6023 (3.0306) AISI 304 (1.4301) |
– | – | |
| シール | FKM (Viton®) | FKM (Viton®) | FKM (Viton®) | |
| フィードスルー | なし | なし | なし | |
| 取り付け位置 | 自由 | 自由 | 自由 | |
| 電源 | – | 200～240 VAC、50/60 Hz 100～115 VAC、50/60 Hz 24 VAC、50/60 Hz 24 VDC |
200～240 VAC、50/60 Hz 100～115 VAC、50/60 Hz 24 VDC |
|
| ベント時間 | 14秒で50 l | 30秒で100 l | 270秒で50 l | |
| 重量 | アルミニウムバルブ ステンレス鋼バルブ |
0.1 kg/0.22 lbs 0.15 kg/0.33 lbs |
0.46 kg/1.01 lbs – |
0.1 kg/0.22 lbs – |
