電子顕微鏡、計測、検査、欠陥のレビュー
電子顕微鏡、計測、検査、欠陥調査の分野で使用される真空環境の制御には、理想的な最小構造の高精度真空バルブ技術が必要です。VATは、この分野におけるカスタ...
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従来のゲートバルブに代わるコンパクトでゲートバルブ
SERIES 20.3 VATTERFLYバルブの重要な要素は、特殊なVATTERFLY技術。VATTERFLYの閉動作の仕組みは、従来のバタフライ技術とは全く異なる動きをします。閉サイクルの間、プレートはバルブ本体に接触することなく移動するので、ガスの副生成物から蓄積されたパーティクルなど、潜在的なパーティクルを発生させるリスクを回避できます。また安全性を高めるために、ゲートバルブのように開位置と閉位置で機械的にロックすることもできます。
このような特徴を備えるSERIES 20.3は、汚染されたプロセスや腐食性の高いプロセスでの隔離要件に特に適しています。プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 20.3は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。
SERIES 20.3 VATTERFLYバルブには、プレートの回転が下流側の拡張ボディでカバーされているコンパクトな標準バルブ本体バージョンがあります。
バルブのサイズはDN63～200mm（2½"～8"）で、バルブ本体はステンレス鋼またはアルミニウム製です。どちらのバージョンもISO-KFまたはCF-Fのフランジが標準装備されていますが、他のフランジもご用意できます。作動は24 VDCの電磁弁による圧空複動式ですが、他の電圧もご指定いただけます。
SERIES 20.3 VATTERFLYバルブの主な特徴
特徴：
- パーティクル発生が少ない
- プロセス汚染への耐性がある
- 開位置と閉位置で機械的にロック
メリット：
- 汚染された腐食性の高いプロセスでも高い稼働率
- 信頼性の高いオペレーション
- 従来のゲートバルブソリューションに比べて低コスト
技術データ
| サイズ | DN 63 (2 ½")、DN 100 (4")、DN 160 (6")、DN 200 (8") | ||
|---|---|---|---|
| アクチュエータ | 圧空作動式 | 複動式 | |
| ボディ素材 | アルミニウムまたはステンレス鋼 | ||
| フィードスルー | ロータリーフィードスルー | ||
| 標準フランジ | ISO-F、CF-F | ||
| 漏れ率 | バルブ本体 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| バルブシート | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
| 圧力範囲 | 1 × 10-8 mbar～2 bar (abs) | ||
| ゲートにかけ得る許容最大差圧 | 開方向 | ≤ 1.2 bar | |
| 閉方向 | ≤ 1.6 bar | ||
| バルブを開けるときの許容最大差圧 | ≤ 500 mbar | ||
| 第1回サービスまでのサイクル数 | 100 000 | ||
| 許容温度 | バルブ本体 | ≤ 120 °C (オプションで150 °C) | |
| アクチュエータ | ≤ 120 °C | ||
| 電磁弁 | ≤ 50 °C | ||
| 位置インジケーター | ≤ 80 °C | ||
| 材料 | アルミニウムバルブ本体、プレート | EN AW-6060 (3.3206)、AW-6061 (3.3211)、AW-6063 (3.3206)、AW-6082 (3.2315) | |
| ステンレス鋼バルブ本体、プレート | AISI 304 (1.4301) | ||
| 機構 | AISI 316L (1.4435)、AISI 304 (1.4301) | ||
| サポートリング: 標準 | POM | ||
| サポートリング: 150 °C (オプション) | PEEK | ||
| シール | ボンネット、プレート、フィードスルー | FKM (Viton®) | |
| 取り付け位置 | 自由 | ||
| 電磁弁 | 24 VDC、7.6 W (ご要望による) | ||
| 位置インジケーター：接触評価 | 電圧 | ≤ 50 V AC / DC | |
| 電流 | ≤ 0.5 A | ||
| パワー | 最大10 W | ||
