15.2 UHV遮断ゲートバルブ

どんな環境でも確実に隔離

パーティクル発生と衝撃感度の低さが要求される用途向けに、特別に設計されたUHV遮断ゲートバルブSERIES 15.2。このバルブは、UHV < 10^-10 mbarまでの多様な圧力レベルでの真空隔離に使用できます。

このシリーズのバルブには全て、MONOVATテクノロジーを採用。これは、摩擦がなく、信頼性の高いゲート密閉性を実現し、パーティクル発生のリスクを低減する技術です。そのMONOVATテクノロジーの大きな特徴の一つは、加硫処理によるゲートシールで。信頼性が高く、耐久性の高い密閉方法です。また、少ないパーティクル発生とガス放出の面において優れているというメリットもあります。その上に、潤滑剤を一切使用しないMONOVATテクノロジーの特殊なソフトクロージング機構により、バルブが取り付けられたシステムへの機械的な衝撃を最小限に抑えることができます。従来のバルブソリューションでは、高速で動くゲートがバルブ本体に触れることで、機械的な衝撃が発生することがありました。

UHV遮断ゲートバルブSERIES 15.2は、すでに何千もの、要求の厳しい用途での利用実績があり、様々なプロセス条件の下で傑出した信頼性を証明してきました。

バルブボディが分割された頑丈な設計により、作業の軽減とメンテナンスの容易化が実現されています。標準的な真空から超高真空まで、このシリーズは真空隔離のあらゆる要求を容易に満たします。
取り付け用フランジやシーリング材、追加の真空ポートなどに様々な設計オプションが用意されているので、どのような用途にも簡単に統合できます。

UHV遮断ゲートバルブSERIES 15.2は圧空作動式で、電磁弁は内蔵式または外部取り付けからお選びいただけます。ソレノイドの標準電圧は24 VDC ですが、それ以外の電圧の使用もご要望にお応えします。バルブの位置は、耐熱温度140°Cの機械式または電気式のリミットスイッチで表示されます。

取り付け用フランジの標準オプションにはISO-F、CF-F（15.2）、ASA-LP、およびJISがありますが、お客様固有のフランジにも対応いたします。窓や金属箔を備えた特殊なゲートや、追加の真空ポートなど、カスタマイズした機能を組み込むこともできます。

バルブにはFKMシールが装着されています。標準以外のシーリング材もご要望に応じてご用意いたします。

UHV遮断ゲートバルブSERIES 15.2の主な特徴

特徴：

• MONOVATテクノロジーでパーティクル発生を防止
• 実証済みの信頼性の高い設計
• 分割型バルブボディ
• フィードスルーの金属溶接ベローズシール

メリット：

• ソフトな作動
• 信頼性の高いパフォーマンス
• 簡単メンテナンス
• 低コスト