77.3 UHV緊急遮断シャッターシステム

超高真空および極高真空システムの保護における高速かつ信頼性の高いスタンダード

緊急遮断シャッターシステムの主な要件は、空気が侵入した場合に迅速かつ確実に反応することです。空気侵入によって超高真空や極高真空の環境が失われると、特に加速器やストレージリングのような大容量の場合は、汚染の問題やコンポーネントの損傷、必要な真空レベルを回復するために労力を要するという点で大きな問題につながりかねません。

UHV緊急遮断シャッターシステムSERIES 77.3は、圧力上昇時に迅速に反応し遮断することで真空レベルを保護します。このシリーズは、10ミリ秒未満（シャッター径による）という抜群の速さで真空ラインを閉じます。シャッターが遮断されることにより、空気侵入はほぼ即座にmbar l/sレベルまで減少。これにより、残留する漏れを気密シーリングするためのオールメタルバルブを作動させる時間が確保されます。損傷に至らないためにはミリ秒単位の時間が重要になるため、SERIES 77.3は保護の基準を打ち立てています。

SERIES 77.3はスロットシャッターバルブ（DN 40～160）として設計されていますが、DN 40バージョンではスロットに代えて円形開口部が採用されています。このシリーズは圧空作動式です。標準的な耐熱温度は、バルブ本体が最大300 °C、アクチュエータは最大50 °C。ボンネットはメタルシール、フィードスルーは溶接メタルベローズでシールされています。

この緊急遮断シャッターシステムは別のコントローラで制御されます。コントローラは、システムの準備状態や、センサおよびセンサへの接続状態を定期的にチェックすることで高速な閉時間を実現しています。コントローラはモジュール式なので、様々なシャッター/センサの配置に合わせて構成できます。空気侵入が検出されると、コントローラは緊急遮断シャッターシステムに加えて、超高真空または極高真空の条件下で気密シーリングされたオールメタルバルブを作動させます。また遠隔出力できるように、緊急遮断シャッターシステムの状態もコントローラから提供されます。逆に、コントローラのインターフェースからシャッターを遠隔操作することもできます。

UHV緊急遮断シャッターシステムSERIES 77.3の性能はすでに、主要なアクセルやストレージリング施設において様々なプロセス条件で実証されており、信頼性の高い超高真空および極高真空システムの保護において標準となっています。