64.8 UHVコントロールゲートバルブ

超高真空プロセスに適した信頼性の高い精密な制御

UHVコントロールゲートバルブSERIES 64.8は、半導体製造のスパッタリングやEUVなどの用途において、超高真空プロセスで信頼性の高い精密な制御と真空封止を提供するように設計されています。このバルブは耐久性とモジュール性、気密性、保守性については標準的な要求を満たしながら、高い稼働率と低コストを特に重視しています。

SERIES 64.8にはプレート部の摩擦を排除し、確実な密閉性を実現するVATLOCK技術を採用。プレートは絞りとして機能し、バルブ開口部のコンダクタンスを変化させます。オンボード圧力コントローラは、セットポイント圧力を実現するために必要なプレート位置を計算します。アクチュエーションはステッピングモーターが行い、エンコーダでプレート位置をモニタリング。これにより、迅速かつ正確なプロセス圧力制御が可能になっています。閉位置では、特殊なVATLOCKロックイン機構によってリークタイトな真空封止が保証され、停電時にはフェイルセーフ機能によって閉じます。

超高真空性能はメタルボンネットシールや密閉型蛇腹フィードスルーに加えて、Vulcanized  seal（オプションでOリング）により実現しています。

プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 64.8は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。その頑丈で潤滑剤不要の設計は、高サイクル真空コントロールゲートバルブとしてあらゆる要求を満たしています。