最大6 kWの信頼性の高い保護のスタンダード

ビームストッパーに求められるのは、確実に作動するストップ機構です。 ビームストッパーSERIES 79.0は、超高真空および極高真空用途においてエネルギー放射から確実に保護します。水冷式の銅板を用いたストップ機構のビーム出力負荷は、ビーム径が60 mmを超える場合は最大6 kW、60 mm未満の場合は最大5 kW。比負荷は最大25 W/mm²です。

SERIES 79.0では、超高真空と極高真空の要件に対応するため水冷式ガイドが一体型になっており、水供給と真空の間に溶接やはんだ付けの接合部がありません。また、水冷機構なしタイプもお選びいただけます。

SERIES 79.0は圧空作動式です。標準的な耐熱温度は、ビームストッパー本体が最大250 °C、アクチュエータは最大80 °Cです(オプションで最大200 °C)。ボンネットはメタルシール、フィードスルーは溶接メタルベローズでシールされています。

ビームストッパーSERIES 79.0の性能はすでに、すべての主要なエネルギービーム施設において様々なプロセス条件で実証されており、ビームストッパーの標準となっています。


VAT 79.0 UHVビームストッパー - 閉
VAT 79.0 UHVビームストッパー - 開

ビームストッパーSERIES 79.0のサイズはDN 63~160 mm(2½”~6”)からお選びいただけます。本体はステンレス鋼製、接続用フランジはCF-Fが標準ですが、お客様指定のフランジや、粗引き(バイパス)、排気またはゲージ用の追加ポートにも対応可能です。

標準的な第1回サービスまでの期間は5000サイクルですが、必要に応じて50000サイクルの拡張バージョンもお選びいただけます。


ビームストッパーSERIES 79.0の主な特徴

特徴:

  • 超高真空と極高真空に対応
  • 一体型の水冷式ガイド
  • サービス期間の長い拡張オプション

メリット:

  • 実績のある技術
  • 長期間にわたって整備不要
  • 低コスト
技術データ
サイズ   DN 63 (2½")、DN 100 (4")、DN 160 (6")
アクチュエータ 圧空作動式 複動式
ボディ素材   ステンレス鋼
フィードスルー   ベローズ
標準フランジ   CF-F
漏れ率 ビームストッパー本体 < 1 × 10-10 mbar ls-1
圧力範囲   超高真空~1 bar (abs)
第1回サービスまでのサイクル数   5000(オプション: 50 000)
焼き出し温度 ビームストッパー本体 ≤ 250°C
  アクチュエータ ≤ 80 °C (オプション:200 °C)
加熱および冷却速度   ≤ 80 °C h-1
材料 ビームストッパー本体 AISI 304 (1.4301)
  機構 AISI 304 (1.4301)
  ベローズ AISI 316L (1.4404)
  水冷式プレート
シール ボンネット 金属
取り付け位置   自由
作動圧力範囲   44~7 bar/58~102 psi
閉時間 DN 63
DN 100
DN 160
1 s
2 s
3 s
ビーム負荷 ビーム径<60 mm
ビーム径> 60 mm
最大5 kW
最大6 kW
基準負荷   最大25 W/mm2
冷却水
温度
最低15 l/min
< 15 °C

最大5 kW
最大6 kW

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