07.7 大型切換ドアL-VAT

ディスプレイおよびPV生産システムの優れたパフォーマンス

製品の指定

あらゆる環境で高い信頼性

真空ドアの新たな基準を打ち立てる、SERIES 07.7 大型切換ドアL-VAT。パフォーマンスの重要な3つの側面を最適化するために開発：(1) 粒子放出保護、 (2) 調整可能な高速サイクルタイム、(3) 高い稼働率と素早く簡単なメンテナンス。

秀でたパフォーマンス特性は、要求の厳しい応用で、変わりやすい工程条件において表れます。

粒子放出保護

切換ドアSERIES 07.7の設計は、優れた粒子パフォーマンスに焦点を当てています。純粋なLモーションで開閉します。粒子放出の危険のある各部分が個別にカプセル化されています。たとえば、両側のドアガイドは、PTFEベローズでカプセル化され、圧力ビームの圧力素子は、溶接金属ベローズでカプセル化され、ケーブルキャリアはPTFEカバーでカプセル化されて、IPAクリーンルームクラス1の仕様に適合します。

調整可能な高速サイクルタイム

高速開閉サイクルでもスムーズに閉じるところが、07.7切換ドアの主な特徴です。圧空アクチュエータの振動減衰機構は、異なるサイクル速度に合わせて調整することができます。つまり、SERIES 07.7では、閉じるときの衝撃を最小限にして、粒子活性化の危険を低減させます。さらに、側面ガイドでドアの動きをスムーズにして、振動を最小限にします。磁気位置インジケーター (MPI) は、ドア位置を、垂直位置と水平位置のどちらも正確に示すために用いられます。SERIES 07.7には、高パフォーマンス大気ドアに必要なすべてが備わっています。

07.7 大型切換ドアL-VAT - 見た目上、閉じた状態 — 見た目上、閉じた状態

高い稼働率と簡単なメンテナンス

メンテナンスのダウンタイムは、単なる煩わしさではなく、コストの回避や出力の低下にもつながります。SERIES 07.7では、メンテナンスによる中断の時間と頻度を減らして、稼働率を最大限にします。簡素化されたゲート交換と圧力素子への簡単なアクセスは、メンテナンス作業を著しく軽減する設計の特徴の一部に過ぎません。

さらに、密閉圧力を、他の密閉素材を使用するときなど、プロセス要件に合わせて調整可能です。また、統合スペーサーはプレートシールの過圧を防ぎ、Oリングの摩耗を軽減し、メンテナンスフリー間隔を長くすることで使用可能性を高めます。

SERIES 07.7大型切換ドアL-VATの主な特徴

特徴：

すべての潜在的な粒子放出素子がカプセル化
純粋なLモーション - スムーズで振動は最小限
垂直位置と水平位置の磁気位置インジケーター

メリット：

秀でた粒子放出保護
調整可能な高速サイクルタイム
高い稼働率と簡単なメンテナンス

技術データ

サイズ		顧客固有
アクチュエータ	圧空作動式	複動式
フィードスルー		シャフトフィードスル
漏れ率	FKMゲートシール (Viton®など)	< 1 × 10^-7 mbar ls^-¹
ゲートにかけ得る許容最大差圧	閉方向	≤ 1 bar
	開方向	≤ 5 mbar
バルブを開けるときの許容最大差圧		≤ 5 mbar
第1回サービスまでのサイクル数		100万 (加熱されていないクリーンな環境)
許容温度	ゲート部	≤ 60 °C
	圧空アクチュエータ	≤ 80 °C
	電磁弁	≤ 50 °C
開閉時間(標準バージョン)	開口部高さ ≤250mm	< 3 s / < 3 s
	開口部高さ > 250mm	サイズに依存
材料	アルミニウムゲート	EN AW-5083
	硬質アルマイド加工アルミニウム (オプション)	EN AW-5083
	ステンレス鋼ゲート (オプション)	AISI 304 (1.4301)、AISI 316L (1.4404)
	サイドガイド (軸)	100 Cr6 (1.3505)、硬質クロームメッキ
シール	ゲート	FKM (Viton®)
	アクチュエータ、圧縮プレート	NBRおよびFKM (Viton®)
取り付け位置		アクチュエータ下方向 (オプション：上方向/横方向)
電磁弁		5/3方向、静的信号
位置インジケーター：接触評価 (PNPタイプ)	電圧	10 – 30 VDC
	電流	≤ 200 mA
	反応時間	≤ 0.1 ms
	安全等級	IP 67
バルブの開閉位置表示		機械的な目視位置表示付き