06.1 大型角型ゲートバルブ／インサートTWINVAT

あらゆる環境で高い信頼性

SERIES 06.1 大型角型ゲートバルブ／インサートTWINVATは、ディスプレイ生産システムの特別な要件を満たすために開発されました。高サイクル生産システム向けに開発されたSERIES 06.1は、実質的にパーティクルフリーの動作と、大型角型ゲートバルブの優れた高速動作（開口部高さが150 mmで2秒以下）を両立しています。SERIES 06.1は、100万回を超える寿命の間、高い稼働率と信頼性の高い動作を実現するように設計されています。

SERIES 06.1に採用されている、モジュラープラットフォームコンセプトに基づくTWINVAT技術は、主要なディスプレイ用途に完全に最適化されています。

• PECVD/ETCH：これらの用途に対応するために、プロセスチャンバーのゲートを維持しながら、トランスファーチャンバーを真空下で生産モードに保つことができる、特別な稼働機能がSERIES 06.1のバルブには備わっています。PECVDやエッチングプロセスでは、ゲートシールのクリーニングや交換を頻繁に行う必要があるため、この機能は特に重要です。滑らかに動く複動式TWINVAT機構によって、シール面全体に均一なシール圧力が加わり、必要なシール荷重が軽減され、シールの摩耗が最小限に抑えられます。これによって、バルブの寿命までにかかるFFKMシールのコストを削減します。
• OLED/PVDおよびロードロック：プレッシャーエレメントを大きくしたSERIES 06.1の改良バージョン（06.3バージョン）では、全差圧がかけられるようになりました。このバージョンでは、OLED用の「ウルトラクリーン」構成と、PVDおよびロードロック用途用の高速オプションが用意されています。

SERIES 06.1は、ハウジング付きの標準的な角型ゲートバルブとして、またはプロセスチャンバーに直接取り付けられるインサートバージョンとしてご利用いただけます。

SERIES 06.1はすでに、世界中の数百のディスプレイ生産システムにおいて様々なプロセス条件下で使用されており、あらゆる面で優れたパフォーマンスを発揮しています。

SERIES 06.1 大型角型ゲートバルブ／インサートTWINVATは他のVAT角型ゲートバルブソリューションと同様に、お客様の仕様にぴったり合わせてオーダーメイドされています。プロセス制御ユニットの追加をはじめ、硬質アルマイト加工やニッケルメッキなどの特殊な表面処理、標準以外のシーリング材、バルブ本体内の圧力を検出する真空計、ベローズ保護シャフトフィードスルー、バルブとゲートのRFおよびDC接地オプション、アクチュエータの側面取り付け位置など、カスタマイズの選択肢も豊富です。