太陽電池薄膜の蒸着
ソーラーパネルメーカーは、最新の太陽電池の性能を構成する超薄膜を製造するために、さまざまなコーティングプロセス(CVD、ALD、MBE、PVDなど)を使用していま...
詳細情報PVと大型コーティングシステムの新たな基準を打ち立てるSERIES 06.6 大型角型ゲートバルブ/インサート/ドアSOLVAT。一つのソリューションで三つの異なる設置/使用要件(角型ゲートバルブ、インサート、大気ドア)に対応できるように開発されているこの製品は、たとえ高温のプロセスで使用されても、短い開閉時間で高いシステムスループットを実現することを重視しています。
SERIES 06.6のパフォーマンスを特徴付けるのは、高い信頼性、高い稼働率と簡単なメンテナンス、そして安定した高サイクルパフォーマンスという三つの要素です。
SERIES 06.6の中核構造は、標準的な温度環境で最大100万サイクルの、高品質かつ長時間の連続生産ができるように設計されています。また熱変形の補正や規定Oリング圧縮など、オプションの設計機能によってSERIES 06.6のパフォーマンスはさらに向上します。
メンテナンスや修理のためのダウンタイムは、単に煩わしいだけではなくコスト増加であり、生産性の低下にもつながります。 その点、SERIES 06.6は稼働率を最大化するよう設計されています。それを象徴しているのが、様々なプロセス条件の下で信頼性の高いパフォーマンスを実現する頑丈な設計と、基本的なメンテナンスしか必要としないメンテナンスサイクルの長さ。そのどちらも有効稼働率を向上さ せます。
メンテナンスが必要な場合でも、生産システムのメンテナンススケジュールに合わせて簡単に行えます。たとえ全ての可動部品のメンテナンス交換が必要な場合でもすぐにできるので、システムメンテナンスのダウンタイムが発生することはありません。
さらに、オプションの「規定Oリング圧縮」機能によりシールの摩耗を軽減、Oリングをより長くお使いいただけるうえ、Oリングの耐用期間を通じて、より安定したシール性能も発揮されます。ゲートのPEEKタブには、バルブハウジングとバルブゲートの直接接触を避けて、規定圧縮を実現する役割があります。
SERIES 06.6の開口部高さ100 mmでの卓越した高速開閉サイクルパフォーマンス(≤ 2 s)は、VATの特殊なSOLVATテクノロジーによって実現されています。この技術は、一連の直線的な動きでゲートを開口部の上に移動させてから開口部に押し付け、2秒以内でシール完了します。
様々な設計オプションが用意されているSERIES 06.6は、幅広い要件に合わせたカスタマイズも可能。インパルス電磁弁や水冷機構、各種材料など、豊富なカスタマイズオプションが用意されています。
SERIES 06.6の詳細については、弊社までお問い合わせください。
特徴:
メリット:
ボディ素材 | アルミニウムまたはステンレス鋼 | ||
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フィードスルー | シャフトフィードスルー | ||
漏れ率 | バルブ本体 | < 1 × 10-7 mbar ls-1 | |
バルブシート | < 1 × 10-5 mbar ls-1 | ||
差圧 | ゲート部 | ≤ 1 bar | |
開動作時 | ≤ 5 mbar | ||
第1回サービスまでのサイクル数 | 100万 | ||
閉時間または開時間 | ≤ 2 s (開口部高さが100 mm の場合) | ||
許容温度 | アルミニウムバルブ本体/フランジ | ≤ 120 °C | |
ステンレス鋼バルブ本体/フランジ | ≤ 200 °C | ||
アクチュエータ、位置インジケーター | ≤ 80 °C | ||
材料 | アルミニウム | EN AW-6082 (3.2315)、EN AW-5083 (3.3547) | |
ステンレス鋼 | AISI 304 (1.4301)、AISI 316L (1.4404) | ||
アクチュエータシャフト | AISI 304 (1.4301)硬質クロムメッキ | ||
シール | ゲート、フランジ、フィードスルー | FKM (Viton®) | |
取り付け位置 | アクチュエータ上、下または側面 | ||
位置インジケーター | 電圧 | 10– 30 VDC PNP (オプションでNPN) |