ディスプレイのドライエッチング
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詳細情報
あらゆる条件下で信頼性の高い遮断を実現
大型HV振子式遮断バルブ SERIES 16.8は、厳しいプロセス条件下でも信頼性の高い遮断性能を実現します。大規模なコーティングやディスプレイ生産システムのような、大容量フローを伴うアプリケーションの遮断要件に最適です。そのためSERIES 16.8は、DN400および500mmのタイプをご用意しています。圧空作動式または標準圧空作動式の3ポジションバルブ（いずれも複動式）をお選びいただけます。
特別なスプリットボディ設計により、配管の接続やプロセスチャンバーの接続を分解せずに、メンテナンスを行うことができます。またスリムなデザインにより、プロセスチャンバーに直接取り付けることができるため、チャンバーとバルブ、ポンプの接続に通常必要とされるボリュームを削減できます。
堅牢な設計と多様な設計オプションにより、SERIES 16.8は様々な真空プロセスに容易に組み込むことができます。すでに様々なプロセス条件下で世界中の何百ものバッチ式およびインライン式生産システムに設置されており、あらゆる面でその優れた性能が実証されています。
圧空作動式
大型HV振子式遮断バルブは、アルミニウム製で、ISO-FおよびJISの標準フランジコネクタを備えています。お客様固有のフランジを組み込むことも可能です。さらに、オプションで粗引き（バイパス）、排気、ゲージ用ポートもご用意しています。またSERIES 16.8はターボポンプの遮断に使用されることが多いため、破片シールドグリッドもご用意しています。
大型HV振子式遮断バルブ SERIES 16.8の主な特徴
特徴：
- 大容量の真空流に対応した信頼性の高い遮断
- 過酷な条件下でも信頼性の高い性能
- スリットボディの採用により、迅速なメンテナンスが可能
メリット：
- 高い稼働率
- 低運用コスト
- プロセス要件に合わせて調整可能
技術データ
| サイズ | DN 400 (16")、DN 457 (16")、DN 500 (20") | |
|---|---|---|
| アクチュエータ | 圧空作動式 | 複動式 |
| ３ポジション、圧空作動式 | 複動式 | |
| ボディ素材 | アルミニウム | |
| フィードスルー | ロータリーフィードスルー | |
| 標準フランジ | ISO-F、ASA、JIS | |
| 漏れ率 | バルブ本体、バルブシート | < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| 圧力範囲 | 1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs) | |
| プレートにかけ得る許容最大差圧 | ≤ 1.2 bar | |
| バルブを開けるときの許容最大差圧 | ≤ 30 mbar | |
| 第1回サービスまでのサイクル数 | 100 000 | |
| 許容温度 | バルブ本体 アクチュエータ 電磁弁 位置インジケーター |
≤ 120 °C ≤ 80 °C ≤ 50 °C ≤ 80 °C |
| 加熱および冷却速度 | ≤ 30 °C h-1 | |
| 材料 | バルブ本体 プレート フィードスルー (メディア接触部) |
EN AC-421000 (3.2371) EN AW-6082 (3.2315) EN AW-6082 (3.2315)、AISI 303 (1.4305) |
| シール |
ボンネット、プレート、フィードスルー |
FKM (Viton®) |
| 取り付け位置 | 自由 | |
| 電磁弁 | 24 V DC、5.4 W (ご要望による) | |
| 位置インジケーター：接触評価 | 電圧 電流 |
≤ 50 V AC/DC ≤ 3 A |
| バルブの開閉位置表示 | 機械的な目視位置表示付き |
