サブファブシステム
腐食性ガス、研磨性ガス、有毒ガス、凝縮ガス、高濃度の副生成物など、サブファブのプロセスは、真空バルブの機能と信頼性に大きな影響を与える可能性があります...
詳細情報
厳しい条件下でも信頼性の高いオペレーション
ガスの流れに副生成物が多く含まれていると、バルブの故障、また沈着による計画外保守作業が発生することがあります。09.1 WEDGE方式設計高真空ゲートバルブで、これを防ぐことができます。セルフクリーニング機能を備えた特別なWEDGE方式設計により、バルブシートに大量の沈着があっても、確実に開閉します。ゲートのくさび形により、バルブシートまたはゲートシールから沈着が押し出され、常に確実な密閉を保証できます。
09.1 高真空ゲートバルブは、最大1 barの差圧で、完全に機能します。
プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のある09.1 WEDGE方式設計高真空ゲートバルブは、厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。特にサブファブ応用では、真空ポンプ隔離の標準ソリューションになっています。幅広い設計のオプションにより、真空ゲートバルブをあらゆる応用に簡単に統合できます。
09.1 ウェッジ式高真空ゲートバルブには、手動式および空気圧式があります。制御バルブの標準電圧は、 24 VDCです。フランジ接続は、ISO-KF、 ISO-F、CF-F、ASA-LP、JISのほか、お客様固有のフランジにも対応しています。標準のOリング材質はFKMですが、ご要望に応じてそれ以外の材質も対応可能です。また、オプションとして、ソフトポンプ機能の搭載や、計測機器などのアクセスポイントの追加が可能です。
新設計WEDGE方式高真空ゲートバルブ09.1の主な特徴
特徴：
- くさび形設計によるセルフクリーニング機能
- 最大1 barの差圧で可能なバルブ開放
- 幅広いアプリケーションに対応する柔軟な構成オプション
メリット：
- 優れた信頼性
- 長いメンテナンスサイクル
- 低い稼働コスト
- 技術データ
- ダウンロード
| サイズ | DN 50 (2")、DN 63 (2½’’)、DN 80 (3")、DN 100 (4")、DN 160 (6")、DN 200 (8") | ||
|---|---|---|---|
| アクチュエータ | 圧空作動式 | 複動式 | |
| 手動式 | クランクハンドル付き | ||
| バルブボディの材質 | ステンレス | ||
| フィードスルー | ベローズ | ||
| 標準フランジ | ISO-KF、ISO-F、CF-F、ASA-LP、JIS | ||
| リークレート | バルブボディ | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| バルブシート | < 1 × 10-7 mbar ls-1 | ||
| 使用圧力範囲 | 1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs) | ||
| ゲートにかけ得る許容最大差圧 | ≤ 1.2 bar | ||
| バルブを開けるときの許容最大差圧 | ≤ 1 bar | ||
| 第1回サービスまでのサイクル数 | 5000 | ||
| 許容温度 | バルブボディ | ≤ 180 °C | |
| 手動/圧空アクチュエータ | ≤ 100 °C | ||
| 電磁弁 | ≤ 50 °C | ||
| リミットスイッチ | ≤ 70 °C | ||
| 材料 | バルブ本体、プレートゲート | AISI 304 (1.4301) | |
| ベローズ | AISI 633 (AM350) | ||
| シール | ボンネット、ゲート | FKM (フッ素ゴム) オプション：FFKM |
|
| 取付方向 | 自由 | ||
| 電磁弁 | 24 VAC/DC、1 W | ||
| リミットスイッチ：メカニカルスイッチ |
電圧 |
24 VAC/DC |
|
