電子顕微鏡、計測、検査、欠陥のレビュー
電子顕微鏡、計測、検査、欠陥調査の分野で使用される真空環境の制御には、理想的な最小構造の高精度真空バルブ技術が必要です。VATは、この分野におけるカスタ...
詳細情報
腐食性のプロセス環境でも信頼性の高い真空封止
L-VAT技術を採用した角型ゲートバルブインサートSERIES 05.2は、エッチングやCVDなどの腐食性の高いプロセスに特に適しています。L-VATとは、単一軸の圧空アクチュエータによってゲートをJ字型に動かす技術です。このJ字型の動きでは、ゲートをバルブ本体に接触させることなく垂直方向に閉位置まで移動させてから、さらに水平方向に移動させてゲートシートに押し付け、接続された空気圧に関連する一定の力でシールをゲートシートに接触させます。
パーティクルの発生や再浮遊をさらに抑えるために、ゲートにはVulcanized sealが装着されています。この仕組みは、標準的なOリングシーリングよりも信頼性が高く、耐久性も高いシーリングソリューションですが、標準のOリングシーリングもオプションとして利用可能です。シャフトフィードスルーは、耐久性の高い金属製の溶接ベローズで密閉されています。
停電時には、オプションのチェックバルブによりSERIES 05.2を空気圧で閉位置と開位置にロックできます。
SERIES 05.2 角型ゲートバルブL-VATは、メンテナンスフリーの動作期間が長くなるように設計されています（第1回サービスまでのサイクル数は最大300万サイクル）。 様々な半導体製造プロセスにおいて、すでに何百もの利用実績のあるSERIES 05.2は、厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。堅牢な設計だけでなく、メンテナンス回数の少なさやメンテナンスのしやすさなど、SERIES 05.2はあらゆる面で信頼できる製品です。
SERIES 05.2 角型ゲートバルブL-VATはすべて、お客様の仕様に合わせて作られています。ただし、リアサイドの開口部が異なる2つのバルブタイプと、内側または外側チャンバーバルブシートを備えた2つのインサートタイプ、合わせて4つの所定の基本構造があります。
バルブ本体の材質は、アルミニウム、硬質アルマイトまたはニッケルメッキからお選びいただけます。ゲートとボンネットのシールはFKMまたはFFKMです。標準以外のシーリング材はご要望にお応えします。
SERIES 05.2 角型ゲートバルブインサートL-VATの主な特徴
特徴：
- 腐食性の高いプロセス条件でも信頼性の高いオペレーション
- スムーズで低振動な動き
- パーティクルの発生と再浮遊を防ぐL-VAT技術
- ベローズシールシャフトフィードスルー
- 長期間メンテナンス不要
メリット：
- 高い稼働率/制約を受けないパフォーマンス
- 高速動作
- 低い運用コスト
技術データ
| サイズ | 46 x 236 mm～50 x 336 mm (1.81" x 9.29"～1.97"～13.23") | ||
|---|---|---|---|
| アクチュエータ | 圧空作動式 | 複動式、リミットスイッチ付き | |
| ボディ素材 | アルミニウム | ||
| フィードスルー | ベローズ | ||
| 漏れ率 | バルブ本体 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| バルブシート | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
| 圧力範囲 | 1 × 10-9 mbar～1.2 bar (abs) | ||
| 差圧 | ゲート部 | ≤ 1.2 bar | |
| 開動作時 | ≤ 30 mbar | ||
| 第1回サービスまでのサイクル数 | ≥ 300万 | ||
| 許容温度 | バルブ本体 | ≤ 50 °C - ≤ 120 °C | |
| ゲート | ≤ 50 °C - ≤ 120 °C | ||
| 加熱および冷却速度 | ≤ 40 °C h-1 | ||
| シート/ゲートの温度差 | < 40 °C | ||
| 材質 | バルブ本体、ゲート、サービスカバー | EN AW-6082 (3.2315)、EN AW-6061 (3.3211) | |
| シャフト、ベローズ端部材 | AISI 316L (1.4435) | ||
| ベローズ | AISI 633 (AM 350) | ||
| シール | ボンネット | FKM (Viton®) | |
| ゲート | FKM (Viton®) | ||
| 取り付け位置 | アクチュエータ下 | ||
| インパルス電磁弁 | 24 VDC、2.5 W (ご要望による) | ||
| 位置インジケーター：接触評価 | 電圧 | ≤ 50 VDC | |
| 電流 | ≤ 250 mA | ||
| パワー | ≤ 10 W | ||
| インターフェース | ミニD-sub 9ピン | ||
| 圧縮空気接続 | 電磁弁なし | 雌ネジ⅛“ ISO/NPT | |
| 電磁弁あり | 雌ネジM5 | ||