電子顕微鏡、計測、検査、欠陥のレビュー
電子顕微鏡、計測、検査、欠陥調査の分野で使用される真空環境の制御には、理想的な最小構造の高精度真空バルブ技術が必要です。VATは、この分野におけるカスタ...
詳細情報
均一なゲート圧縮による信頼性の高い隔離
L-MOTION技術を採用した05.3インサートは、エッチングやCVDなどの腐食性の高いプロセスに特に適しています。L-MOTIONとは、単一軸の圧空アクチュエータによってゲートをL字型に動かす技術です。このL-MOTIONでは、ゲートをバルブ本体に接触させることなく垂直方向に閉位置まで移動させてから、さらに水平方向に移動させてゲートシートに押し付け、それと同時に全く同じ圧力でシールをゲートシートに接触させます。 これにより、摩擦やそれに伴う潜在的なパーティクルの発生を防ぐだけでなく、シールの摩耗も最小限に抑えることができます。
パーティクルの発生や活性化をさらに抑えるために、ゲートには焼付け処理されたシールが装着されています。この仕組みは、標準的なOリングシーリングよりも信頼性が高く、耐久性も高いシーリングソリューションですが、標準のOリングシーリングもオプションとして利用可能です。シャフトフィードスルーは、耐久性の高い金属製の溶接ベローズで密閉されています。
ゲートには、その全長にわたって同じ密閉度を確保するために、特殊なプレッシャービームが取り付けられています。このバーによって、ゲートのすべての領域で密閉圧力が均等に分配されます。
電源喪失時には、05.3を空気圧で閉位置にロックできます。
インサートL-MOTION 05.3は、メンテナンスフリーの動作期間が長くなるように設計されています（第1回サービスまでのサイクル数は最大300万サイクル）。
様々な半導体生産工程において、すでに何百もの利用実績のある04.3 / 05.3は、厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。堅牢な設計だけでなく、メンテナンス回数の少なさやメンテナンスのしやすさなど、04.3 / 05.3はあらゆる面で納得のいく製品です。
閉位置
（真空シールなし）
インサートL-MOTION 05.3はすべて、お客様の仕様に合わせて作られています。ただし、リアサイドの開口部が異なるボンネットフランジを備えた2つのバルブタイプと、内側または外側チャンバーバルブシートを備えた2つのインサートタイプ、合わせて4つの所定の基本構造があります。
バルブ本体の材質は、アルミニウム、硬質アルマイトまたはニッケルメッキ、およびステンレス鋼からお選びいただけます。ゲートおよびボンネットシールはFKMまたはFFKMですが、ご要望に応じて他のシーリング材もお選びいただけます。
SERIES 05.3 高真空角型インサートL-MOTION の主な特徴
特徴：
- 腐食性の高いプロセス条件でも信頼性の高いオペレーション
- パーティクルの発生と活性化を防ぐL-MOTION技術
- ゲート圧力を均等に分配するプレッシャービーム
- ベローズシールシャフトフィードスルー
- 長期間メンテナンス不要
- スムーズで低振動な動き
メリット：
- 高い稼働率/制約を受けないパフォーマンス
- 高速動作
- 低い運用コスト
技術データ
| 開口部サイズ | 50 x 336 mm～80 x 500 mm (1.97" x 13.23"～3.15" x 19.69") | ||||
|---|---|---|---|---|---|
| アクチュエータ | 圧空作動式 | 複動式、リミットスイッチ付き | |||
| バルブボディの材質 | 表面処理なしまたは硬質アルマイド加工アルミニウム | ||||
| フィードスルー | ベローズ | ||||
| シーリング技術 | L-MOTION (用語集を参照) | ||||
| ボディおよびシートでの リークレート （単位: mbar ls-1） |
シール面 | シール | |||
| FKM バルブ本体 |
バルブシート |
FFKM (FKM Zalak 5100) バルブ本体 |
|
||
| 表面処理なしメタル | < 1 × 10-9 | < 1 × 10-9 | < 1 × 10-8 | < 1 × 10-7 | |
| 硬質アルマイト加工アルミニウム | < 1 × 10-5 | < 1 × 10-4 | < 1 × 10-5 | < 1 × 10-4 | |
| ニッケルメッキアルミニウム | < 1 × 10-9 | < 1 × 10-9 | < 1 × 10-8 | < 1 × 10-7 | |
| 使用圧力範囲 |
表面処理なしまたはニッケルメッ 硬質アルマイト加工アルミニウム |
1 × 10-9 mbar～1.1 bar (abs) 1 × 10-6 mbar～1.1 bar (abs) |
|||
| ゲートにかけ得る許容最大差圧 | 1.1 bar | ||||
| バルブを開けるときの許容最大差圧 | ≤ 30 mbar | ||||
| 第1回サービスまでのサイクル数 | ≥ 300万（最大DN 50 × 336 mm) ≥ 200万（DN 80 × 500 mm) |
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| 許容温度 | バルブ本体、ゲート | ≤ 120 °C | |||
| アクチュエータ | ≤ 80 °C | ||||
| 加熱および冷却速度 | ≤ 40 °C h-1 | ||||
| 材質 | バルブ本体、ゲート、サービスカバー | EN AW-5083 (3.3547)、EN AW-6061 (3.3211)、EN AW-6082 (3.2315) | |||
| ベローズ端部材、シャフト | AISI 316L (1.4435 1.4404) | ||||
| ベローズ | AISI 633 (AM 350) | ||||
| シール | ゲート、サービスカバー | FKM | |||
| 取り付け位置 | アクチュエータ上または下 | ||||
| インパルス電磁弁 | 24 VDC、2.5 W (ご要望による) | ||||
| リミットスイッチ | 電圧 | ≤ 50 V AC/DC | |||
| 電流 | ≤ 0.1 A | > 5 mA | |||
| 連結部 | 9ピンサブミニチュアD | ||||
| 圧空接続 | クイックコネクタO. D. 6mm | ||||
