HV振子式遮断バルブSERIES 16.2は、パーティクル数とパーティクルの再浮遊を抑えながら、信頼性の高い遮断性能を発揮します。この優れたパーティクル性能は、非常に滑らかな開閉動作によって実現されます。
SERIES 16.2は、エバポレーターやスパッタリング用途など、過酷なプロセスでの遮断要件に最適です。SERIES 16.2には、3ポジション圧空作動式の単動シリンダースプリングによる閉動作、または標準圧空作動式の単動シリンダースプリングによる閉動作があります。
特別なスプリットボディ設計により、配管の接続やプロセスチャンバーの接続を分解せずに、メンテナンスを行うことができます。またスリムなデザインにより、プロセスチャンバーに直接取り付けることができるため、チャンバーとバルブ、ポンプの接続に通常必要とされる体積を削減できます。
堅牢な設計と多様な設計オプションにより、SERIES 16.2は様々な真空プロセスに容易に組み込むことができます。
SERIES 16.2はすでに様々なプロセス条件下で世界中の何百ものバッチ式およびインライン式生産システムに設置されており、あらゆる面でその優れた性能が実証されています。
HV振子式遮断バルブは、アルミニウム製で、ISO-FおよびJISの標準フランジコネクタを備えています。お客様固有のフランジを組み込むことも可能です。さらに、オプションで粗引き（バイパス）、排気、ゲージ用ポートもご用意しています。またSERIES 16.2はターボポンプの遮断に使用されることが多いため、破片シールドグリッドもご用意しています。
特徴：
メリット：
| サイズ | DN 200 (8"), DN 250 (10"), DN 320 (12"), DN 350 (14"), DN 400 (16"), DN 500 (20") |
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|---|---|---|
| アクチュエータ | 圧空作動式 | 単動シリンダースプリングによる閉動作（NC） |
| ３ポジション圧空作動式 | 単動シリンダースプリングによる閉動作（NC） | |
| ボディ素材 | アルミニウム | |
| フィードスルー | ロータリーフィードスルー | |
| 標準フランジ | ISO-F、ASA-LP、JIS | |
| 漏れ率 | バルブ本体、バルブシート | < 1 × 10-8 mbar ls-1 |
| 圧力範囲 | 1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs) | |
| プレートにかけ得る許容最大差圧 | ≤ 1.2 bar | |
| バルブを開けるときの許容最大差圧 | DN 200 DN 250 - 500 |
≤ 10 mbar ≤ 5 mbar |
| 第1回サービスまでのサイクル数 | 200 000 | |
| 許容温度 | バルブ本体 アクチュエータ 電磁弁 位置インジケーター |
≤ 120 °C ≤ 80 °C ≤ 50 °C ≤ 80 °C |
| 加熱および冷却速度 | ≤ 30 °C h-1 | |
| 材料 | バルブ本体、プレート、シールリング DN 200-400 DN 500 フィードスルー (メディアとの接触部) |
EN AW-5083 (3.3547)、EN AW-6082 (3.2315) EN AC-42100 (3.2371) AISI 303 (1.4305)、AISI 304 (1.4301) |
| シール | ボンネット、プレート、ダイナミック、フィードスルー | FKM (Viton®) |
| 取り付け位置 | 自由 | |
| 電磁弁 | 24 V DC、5.4 W (ご要望による) | |
| 位置インジケーター | 電圧 電流 |
≤ 50 V AC/DC ≤ 1.2 A |
| バルブの開閉位置表示 | 機械的な目視位置表示付き |
