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シリーズ

65.3 HV振子式コントロールバルブ

  • 65.3 - 65351-JACN
65.3 - 65351-JACN

シリーズ

65.3 HV振子式コントロールバルブ

品番
65351-JACN

SEMI,FPD製造装置の圧力制御と真空封止用に最適

  • 技術データ
  • ダウンロード
サイズ
DN 350 (14")
フランジ
JIS
材料
アルミニウム
アクチュエータ
ステッピングモーター
コントローラー構成
SPSおよびPFO
位置表示信号
非搭載
ソレノイド
非搭載
最小圧力
1 × 10-8 mbar
最大圧力
1.2 bar (abs)
コンダクタンス
43000 ls⁻¹
ゲートにかけ得る差圧
≤ 1 bar
バルブを開けるときの差圧
≤ 1 bar
Controller interface + sensors
CC-Link / センサー 2つ
閉→開
6 s
開→閉
5 s
圧力制御（スロットル） 高速時間
0.7 s
圧力制御（スロットル）デフォルト速度時間
1.3 s
圧縮空気の最大圧力
7 bar / 102 psi
圧縮空気の最小圧力
4 bar / 58 psi
重量
59 kg / 130.07 lbs
バルブ本体最大温度
≤ 120 °C
製品のアドオン
バルブ
温度管理
アクチュエータ
ゲート

スペアパーツ

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