電子顕微鏡、計測、検査、欠陥のレビュー
電子顕微鏡、計測、検査、欠陥調査の分野で使用される真空環境の制御には、理想的な最小構造の高精度真空バルブ技術が必要です。VATは、この分野におけるカスタ...
詳細情報管内バルブの重要なパフォーマンス指標は、信頼性と可変性です。26.5 高真空管内バルブシリーズはどちらも兼ね備えています。プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 26.5は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。アクチュエーション、フランジ接続、本体材料、またはシーリングのさまざまな設計オプションがあり、ほぼすべての要件に適合します。
26.5は、低ガス放出率が重要なときの、高真空システムのポンプおよび排気に最適です。高差圧に耐え、粒子に敏感な応用でベローズのカプセル化フィードスルーが付いています。また、ベローズのカプセル化は、あらゆるバルブ位置で圧力ピークを防ぎます。
26.5 高真空管内バルブは、信頼性の高い頑丈な中核構造を基礎としており、手動から圧空作動や電磁まで、アクチュエーションのさまざまな設計オプションがあります。DN 10~DN 160mm (0.4インチ~6.4インチ) の26.4は、異なる仕様で、アルミニウムまたはステンレス鋼を選択可能です。接続用フランジの標準オプションはISO-KFとISO-Kです。
ビジュアル位置インジケーターが標準ですが、電気インジケーターをオプションとして追加できます。バルブを制御する電磁弁は、本体に直接搭載または必要に応じて離して搭載することが可能です。26.5は、選択するシーリングエラストマーによっては、異なる温度状況で使用できます。バルブは、通常開、通常閉、または複動式として供給可能です。この標準オプションに加えて、さらなるカスタマイズが可能です。