真空炉
真空ポンプに加えて、真空炉で使用されるバルブ技術は、プロセスの効率と品質に決定的な影響を与えます。精密な制御に加えて、高い信頼性、堅牢な設計、高い稼働...
詳細情報保護リング付き高真空ゲートバルブSERIES 17.2は、ガスの流れに副生成物が多く含まれる真空プロセスにおいて、信頼性の高い隔離ができるように設計されています。
このゲートバルブには、バルブ本体内部や機構への堆積を防ぐため、ゲートバルブが「開」位置にあるときに適所にスライドする保護リングを装備。これにより、過酷な環境下でもバルブの耐久性が高まって動作寿命が延びます。
高真空ゲートバルブSERIES 17.2にはゲートシール部の摩擦を排除し、確実な密閉性を実現するために開発された特殊な技術、VATLOCKテクノロジーを採用。VATLOCK機構はバルブの閉終了位置で機械的にロックする仕組みで、バルブの故障も防ぎます。
プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のある高真空ゲートバルブSERIES 17.2は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。今ではこのバルブが、汚染されたプロセスの真空隔離においてDN 63~320mm(2.5"~12")の標準となっています。SERIES 17.2は、信頼性の高さが求められる高真空ゲートバルブとしてそのすべての要求を満たす、潤滑剤不要の頑丈な設計。
高真空ゲートバルブSERIES 17.2には各種アクチュエータや取り付け用フランジのオプションも多彩に取り揃えており、どんな真空システムにも簡単に統合可能。特殊オプションも幅広く、粗引き用ポートや排気用、ゲージ用ポートのほかに、シーリング材も用途に応じて自由に選択でき、お客様の用途にぴったりと合わせることができます。さらに、限られた設置スペースにもぴったりと合うように、アクチュエータの取り付け位置を様々に指定できるというメリットもあります。
保護リング付き高真空ゲートバルブSERIES 17.2には、ハンドホイールまたはレバーによる手動式のほかに、圧空作動式や複動式もあり、電磁弁は内蔵式または外部取り付けからお選びいただけます。電磁弁の標準電圧は24 VDCですが、それ以外もご要望に応じてお選びいただけます。
接続用フランジの標準オプションはISO-F、CF-F、ASA-LPおよびJISです。お客様指定のフランジも、水冷機構あり/なしどちらでも対応可能です。
特徴:
メリット:
サイズ | DN 63 (2½’’)、DN 100 (4")、DN 160 (6")、DN 200 (8") | ||
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アクチュエータ | 圧空作動式 | 複動式 | |
手動式 | ハンドホイールまたはレバーを使用 | ||
ボディ素材 | ステンレス鋼 | ||
フィードスルー | ロータリーフィードスルー | ||
標準フランジ | ISO-F、CF-F、ASA-LP、JIS | ||
漏れ率 | バルブ本体 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
バルブシート | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
圧力範囲 | 1 × 10-8 mbar~2 bar (abs) | ||
差圧 | ゲート部 | ≤ 2 bar | |
開動作時 | ≤ 30 mbar | ||
第1回サービスまでのサイクル数 | 100 000 | ||
許容温度 | バルブ本体 | ≤ 150 °C | |
圧空アクチュエータ | ≤ 50 °C | ||
手動アクチュエータ | ≤ 80 °C | ||
電磁弁 | ≤ 50 °C | ||
位置インジケーター | ≤ 80 °C | ||
加熱および冷却速度 | ≤ 50 °C h-1 | ||
材料 | バルブ本体、フランジ | AISI 304 (1.4301) | |
機構 | AISI 301 (1.4310)、AISI 304 (1.4301) AISI 316L (1.4404)、AISI 420 (1.4034) |
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シール | ボンネット、ゲート | FKM (Viton®) | |
取り付け位置 | 自由 | ||
電磁弁 | 24 VDC, 2.5 W(ご要望による) | ||
位置インジケーター:接触評価 | 電圧 | ≤ 250 VAC | ≤ 50 VDC |
電流 | ≤ 5 A | ≤ 3 A | |
バルブの開閉位置表示 | 機械的な目視位置表示付き |