1 × 10^-8 mbar to 1.6 bar (abs)

11.1 高真空ゲートバルブ

高真空防止の標準バルブ

製品の指定

どんな環境でも完璧に隔離

高真空ゲートバルブ SERIES 11.1にはゲートシール部の摩擦を排除し、確実な密閉性を実現するために開発された特殊な技術、VATLOCKテクノロジーを採用。VATLOCK機構はバルブの閉終了位置で機械的にロックする仕組みで、バルブの故障も防ぎます。

プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 11.1は、その前身であるSERIES 11.0同様、厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。今ではSERIES 11.0と11.1がDN 63～320mm（2.5"～11.5"）のHV隔離の標準となっています。

SERIES 11.1は、信頼性の高い動作が求められる高真空ゲートバルブとしてそのすべての要求を満たす頑丈な設計。処理回数が特に多い使用環境でも、高い信頼度で安定的に動作するよう設計されているSERIES 11.1は、多用途の高真空ゲートバルブのスタンダードとしてその地位を確立しています。

各種アクチュエータや取り付け用フランジのオプションも多彩に取り揃えており、どんなHVシステムにも簡単に統合可能。特殊オプションも幅広く、窓やポートの有無も自由に選択できるため、お客様の用途にぴったりと合わせることができます。

高真空ゲートバルブ SERIES 11.1には手動式、圧空作動式、3位置圧空作動式を取り揃えています。バルブを制御する電磁弁は、本体に直接搭載または必要に応じて離して搭載することが可能です。電磁弁の標準電圧は24VDC ですが、それ以外もご要望に応じてお選びいただけます。バルブの位置はC接点付きリミットスイッチの2重リミットスイッチ（開、閉それぞれの位置に2つのリミットスイッチ付き）で表示しています。

接続用フランジの標準オプションは、ISO-F、CF-F、ASA-LおよびJISです。お客様指定のフランジも、水冷機構あり/なしどちらでも対応可能です。

バルブゲートのシールには、最大DN 200mm（8"）のOリングまたはVulcanizedシールをお選びいただけます。おすすめは、真空性、信頼性共に高く優れたパフォーマンスを発揮するVulcanizedシールです。

高真空ゲートバルブ SERIES 11.1の主な特徴

特徴：

実証済みの信頼性の高い設計
フェイルセーフ設計のVATLOCKテクノロジー
頑丈なステンレス鋼ボディ
高サイクル対応設計
フィードスルーの金属溶接ベローズシール

メリット：

エラストマーシールの仕切り弁ではクラス最高の真空性能
信頼性の高いオペレーション
長期間メンテナンス不要
低コスト

技術データ

サイズ		DN 63 (2½’’)、DN 80 (3")、DN 100 (4")、DN 160 (6")、 DN 200 (8")、DN 250 (10")、DN 320 (12")
アクチュエータ	3ポジション圧空作動式	複動式
	手動式	クランクハンドル付き
ボディ素材		ステンレス鋼
フィードスルー		ベローズ
標準フランジ		ISO-F、CF-F、ASA-LP、JIS
漏れ率	バルブ本体	< 1 × 10^-⁹ mbar ls^-¹
	バルブシート	< 1 × 10^-⁹ mbar ls^-¹
圧力範囲		1 × 10^-8 mbar～1.6 bar (abs) (DN 63 – 200) 1 × 10^-8 mbar～1.2 bar (abs) (DN 250 – 320)
許容差圧	ゲート部	≤ 1.6 bar (DN 63 – 200) ≤ 1.2 bar (DN 250 – 320)
	開動作時	≤ 30 mbar
第1回サービスまでのサイクル数		200 000
許容温度	バルブ本体	≤ 150 °C
	アクチュエータ	≤ 80 °C
	電磁弁	≤ 50 °C
	位置インジケーター	≤ 50 °C
加熱および冷却速度		≤ 50 °C h^-1
材料	バルブ本体	AISI 304 (1.4301)
	機構	AISI 316L (1.4404) (DN 63 – 200) AISI 304 (1.4301) (DN 250 – 320)
	ベローズ	AISI 633 (AM350)
シール	ボンネット、ゲート	FKM (Viton^®)
取り付け位置		自由
電磁弁		24 VDC、5.4 W (ご要望による)
位置インジケーター：接触評価	電圧	≤ 50 VAC/DC
	電流	≤ 1.2 A
バルブの開閉位置表示		機械的な目視位置表示付き