14.0 高真空ゲートバルブ

標準的な高サイクル真空隔離用

製品の指定

標準的な真空プロセスに適した信頼性の高い隔離

高真空ゲートバルブSERIES 14.0は、標準的な高サイクル真空プロセスで信頼性の高い隔離を実現するように設計されています。このバルブは耐久性とモジュール性、保守性については標準的な要求を満たしながら、高い稼働率と低コストを特に重視しています。

高真空ゲートバルブSERIES 14.0にはゲートシール部の摩擦を排除し、確実な密閉性を実現するために開発された特殊な技術、VATLOCKテクノロジーを採用。VATLOCK機構はバルブの閉終了位置で機械的にロックする仕組みで、バルブの故障も防ぎます。

プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 14.0は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。今ではこのシリーズがDN63～400mm（2.5"～16"）の高真空隔離の標準となっています。

SERIES 14.0は、信頼性の高さが求められる高真空ゲートバルブとしてそのすべての要求を満たす、潤滑剤不要の頑丈な設計。SERIES 14.0は、特に多くのプロセスサイクルを想定して設計されており、まさに基準となる製品です。

SERIES 14.0には各種アクチュエータや取り付け用フランジのオプションも多彩に取り揃えており、どんな真空システムにも簡単に統合可能。特殊オプションも幅広く、粗引き用ポートや排気用、ゲージ用ポートのほかに、シーリング材も用途に応じて自由に選択でき、お客様の用途にぴったりと合わせることができます。

高真空ゲートバルブ SERIES 14.0には手動式、圧空作動式、3位置圧空作動式があり、電磁弁は内蔵式または外部取り付けからお選びいただけます。電磁弁の標準電圧は24 VDCですが、それ以外もご要望にじてお選びいただけます。

接続用フランジの標準オプションはISO-F、CF-F、ASA-LP/ASAおよびJISです。お客様指定のフランジも、水冷機構あり/なしどちらでも対応可能です。

高真空ゲートバルブ SERIES 14.0の主な特徴

特徴：

実証済みの信頼性の高い設計
潤滑剤不要
フェイルセーフ設計のVATLOCKテクノロジー
頑丈なステンレス鋼ボディ
高サイクル対応設計

メリット：

信頼性の高いパフォーマンス
長期間メンテナンス不要
低コスト

技術データ

サイズ		DN 63 (2½’’)、DN 80 (3")、DN 100 (4")、DN 160 (6")、DN 200 (8")、DN 250 (10")、DN 320 (12")、DN 400 (16")
アクチュエータ	3ポジション圧空作動式	複動式
	手動式	レバーまたはハンドホイールを使用
ボディ素材		ステンレス鋼
フィードスルー		ロータリーフィードスルー
標準フランジ		ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA、JIS
漏れ率	バルブ本体	< 1 × 10^-⁹ mbar ls^-¹
	バルブシート	< 1 10^-⁹ mbar ls^-¹
圧力範囲		1 × 10^-8 mbar～2 bar (abs) (DN 63 – 200) 1 × 10^-8 mbar～1.2 bar (abs) (DN 250 – 400)
差圧	ゲート部	≤ 2 bar (DN 63 – 200) ≤ 1.2 bar (DN 250 – 400)
	開動作時	≤ 30 mbar
第1回サービスまでのサイクル数		200 000
許容温度	バルブ本体	≤ 150 °C
	圧空アクチュエータ	≤ 50 °C
	手動アクチュエータ	≤ 80 °C
	電磁弁	≤ 50 °C
	位置インジケーター接触	≤ 80 °C
加熱および冷却速度		≤ 50 °C h^-1
材料	バルブ本体	AISI 304 (1.4301)
	機構	AISI 301 (1.4310)、AISI 304 (1.4301) AISI 316L (1.4404)、AISI 420 (1.4034)
シール	ボンネット、ゲート	FKM (Viton^®)
取り付け位置		自由 (DN 63 – 350) 水平　(DN 400)
電磁弁		24 VDC、2.5 W（ご要望による）
位置インジケーター：接触評価	電圧	≤ 250 VAC	≤ 50 VDC
	電流	≤ 5 A	≤ 3 A
バルブの開閉位置表示		機械的な目視位置表示付き