サブファブシステム
腐食性ガス、研磨性ガス、有毒ガス、凝縮ガス、高濃度の副生成物など、サブファブのプロセスは、真空バルブの機能と信頼性に大きな影響を与える可能性があります...
詳細情報
あらゆる環境下で確実に真空封止
高真空シリンダーバルブSERIES 25.0は、サブファブプロセスのような、腐食性ガスやパーティクルを含むガスが存在する過酷なプロセス環境での使用を想定して設計されています。このシリーズには、アングル（25.0）、インライン（25.1）、3/2ウェイ設計（25.2）があり、各バージョンで最大のコンダクタンスが得られるようレイアウトされています。
高真空シリンダーバルブSERIES 25.0は、耐久性と高い稼働率を実現するために、シリンダー設計の高コンダクタンスの利点とシール寿命の向上を組み合わせたシール保護システムを採用しています。このシール保護システムはシリンダーのTILT-TURN-TILT動作と連動しており、シリンダーがゲートシールをバルブシートから離すリフト動作を行うことによって摩擦を避け、シールの摩耗やパーティクルの発生を効果的に防ぎます。また全開時（90°回転後）には、TILT-TURN-TILT動作でシールをバルブ本体に軽く押し付けることによって、ガス流に含まれる潜在的なパーティクルからもシールを保護します。停電が発生したときは、バルブ機構は開位置または閉位置にロックされ、最後のバルブ位置が維持されます。
プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のある高真空シリンダーバルブSERIES 25.0は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。
ゲートをティルト（TILT）動作させる。ゲートシールをバルブシートから持ち上げる。
開位置に対してゲートが90°回転（TURN）する。
バルブボディに対してゲートをティルト（TILT）動作させる。ゲートシールが保護される。
HVシリンダーバルブSERIES 25.0には圧空作動式があり、電磁弁は外部取り付けアクセサリーとしてお選びいただけます。バルブ位置はLEDで表示されます（10～30 VDC、5～100 mA）。
接続用フランジの標準オプションはISO-KFとISO-KF「クロー」です。標準のゲートシールはFKMです。お客様指定のフランジにも対応可能です。加熱カートリッジや標準以外のシーリング材、ステンレス鋼バージョンのような特殊な機能もご用意しております。
HVシリンダーバルブSERIES 25.0の主な特徴
特徴：
- 過酷な環境に耐える、信頼性の高い実証済みの設計
- シールを保護するTILT-TURN-TILT機構
- 最大コンダクタンス
メリット：
- 信頼性の高いパフォーマンス
- 手間いらずの簡単メンテナンス
- 低コスト
技術データ
| サイズ | DN 16 (⅝")、DN 25 (1")、DN 40 (1½") | |
|---|---|---|
| アクチュエータ | 圧空作動式 | 複動式 |
| ボディ素材 | アルミニウム | |
| 標準フランジ | ISO-KF、ISO-KF「クロー」 | |
| 漏れ率 | バルブ本体、バルブシート | < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| 圧力範囲 | 1 × 10-8 mbar～3 bar (abs) | |
| ゲートにかけ得る許容最大差圧 | 閉方向 開方向 |
≤ 1.2 bar ≤ 3.0 bar |
| バルブを開けるときの許容最大差圧 | ≤ 1.2 bar | |
| 第1回サービスまでのサイクル数 | 100 000 | |
| 許容温度 | バルブ本体 アクチュエータ 位置インジケーター |
≤ 120 °C ≤ 120 °C ≤ 80 °C |
| 材料 | バルブ本体 | EN AW-6060 (3.3206)、EN AW-6082 (3.2315) |
| ゲート、ボンネットフランジ | EN AW-6082 (3.2315) | |
| シャフト | AISI 316L (1.4435)、Ni-PTFEコーティング | |
| ゲート固定スクリュー、ワッシャー | A4-80、Ni-PTFEコーティング | |
| シール | ボンネット、ゲート、フィードスルー | FKM (Viton®) |
| フィードスルー | ロータリーフィードスルー | |
| 取り付け位置 | 自由 | |
| 位置インジケーター：接触評価 | 電圧 電流 |
10～30 VDC 5～100 mA |
| バルブの開閉位置表示 | LED |
