プロセスコントロールとアイソレーション
半導体製造では、真空やガスの流れを高精度に制御・遮断することが不可欠です。上流工程と下流工程の両方において、すべてのバルブ機能は、多くのサイクルで正確...
詳細情報
標準的な真空プロセスに適した信頼性の高い精密な制御
高真空コントロールゲートバルブ SERIES 64.2は、スパッタリングやエッチングプロセスなどの高サイクルの真空プロセスにおいて、信頼性の高い精密な制御と隔離を提供するように設計されています。このバルブは耐久性とモジュール性、保守性については標準的な要求を満たしながら、高い稼働率と低コストを特に重視しています。
SERIES 64.2にはプレート部の摩擦を排除し、確実な密閉性を実現するVATLOCKテクノロジーを採用。プレートは絞り要素として機能し、バルブ開口部のコンダクタンスを変化させます。オンボード圧力コントローラは、規定のセットポイント圧力を達成するために必要なプレート位置を計算します。アクチュエーションはステッピングモーターが行い、エンコーダでプレート位置をモニタリング。これにより、迅速かつ正確なプロセス圧力制御が可能になっています。閉位置では、特殊なVATLOCKロックイン機構によってリークタイトな隔離が保証され、停電時にはフェイルセーフ機能によって閉じます。
プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 64.2は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。その頑丈な設計は、高サイクル真空コントロールゲートバルブとしてあらゆる要求を満たしています。
多様な真空用途に最適な形で組み込むことができるように、高真空コントロールバルブSERIES 64.2には、シーリング材やフランジ接続、粗引き（バイパス）、排気またはゲージ用接続、特別な制御アルゴリズム（適応型制御、fix PI下流/ソフト排気制御）などのオプションとともに、様々な設計バリエーションが用意されています。
SERIES 64.2を限られたスペースに取り付ける必要がある場合は、アクチュエータとコントローラをバルブ本体の異なる位置に取り付けることもできます。さらにコントローラは、バルブアクチュエータから切り離して取り付けることもできます。
このシリーズのサイズはDN100～400mm（4"～16"）からお選びいただけます。
高真空コントロールゲートバルブ SERIES 64.2の主な特徴
特徴：
- 実証済みの信頼性の高い設計
- VATLOCKテクノロジー
- 頑丈なステンレス鋼ボディ
- 高サイクル対応設計
メリット：
- 信頼性の高い精密な制御と隔離パフォーマンス
- 長期間メンテナンス不要
- 低コスト
技術データ
| サイズ | DN 100 (4")、DN 160 (6")、DN 200 (8")、DN 250 (10")、 DN 320 (12")、DN 350 (14")、DN 400 (16") |
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|---|---|---|
| アクチュエータ | ステッピングモーターを備えた一体型圧力コントローラ | |
| ボディ素材 | ステンレス鋼 | |
| フィードスルー | ロータリーフィードスルー | |
| 標準フランジ | ISO-F、CF-F、ASA-LP/ASA、JIS | |
| 漏れ率 | バルブ本体、バルブシート | < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| 圧力範囲 | DN 100 – 200 DN 250 – 400 |
1 × 10-8 mbar～2 bar (abs) |
| ゲートにかけ得る許容最大差圧(バルブ閉) | DN 100 – 200 DN 250 – 400 |
≤ 2 bar ≤ 1.2 bar |
| バルブを開けるときの許容最大差圧 | ≤ 30 mbar | |
| 第1回サービスまでのサイクル数1) | 圧力制御 閉動作/開動作 |
100万 200 000 |
| 許容温度 | バルブ本体 コントローラ |
≤ 150°C 最大50°C (推奨 ≤ 35 °C) |
| 材料 | バルブ本体、バルブゲート | AISI 304 (1.4301) |
| 機構 | AISI 301 (1.4310)、AISI 304 (1.4301)、 AISI 420 (1.4034)、AISI 420D (1.4037)、 AISI 430 (1.4016) |
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| シール | ボンネット、ゲート、フィードスルー | FKM (Viton®) |
| 取り付け位置 | DN 100 – 350 DN 400 |
自由 水平 |
| バルブの開閉位置表示 | コントローラ上と機械的な目視位置表示付き |
1) 最大値は使用条件およびシール材によって異なる