プロセスコントロールとアイソレーション
半導体製造では、真空やガスの流れを高精度に制御・遮断することが不可欠です。上流工程と下流工程の両方において、すべてのバルブ機能は、多くのサイクルで正確...
詳細情報
あらゆる環境下で抜群の圧力制御と締切り
HVバタフライコントロールバルブSERIES 61.6は抜群の圧力制御・締切り性能を発揮します。0.45秒という高速で正確に動作するモーションコントローラは、CVDプロセスの微細な制御と締切りに最適なソリューションです。プレートは絞りとして機能し、バルブ開口部のコンダクタンスを変化させます。SERIES 61.6に一体化された圧力コントローラは、設定された圧力を可能な限り早く達成するために必要なプレート位置を素早く計算します。
SERIES 61.6の締切り機能は、バタフライバルブの特徴である高いシール摩耗を避けるために特別に設計されています。プレートシャフトの中心から外れた位置にあるバルブ本体とシールシートの特殊な形状により、シールの摩擦を最小限に抑えて、密閉性能を向上させています。
プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 61.6は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。堅牢な設計や直接取り付けのオプションだけでなく、メンテナンス回数の少なさやメンテナンスのしやすさなど、SERIES 61.6はあらゆる面で納得のいく製品です。
本体の材質はもちろん、表面処理やエラストマー、フランジ接続、シーリング材、特殊なサイズ、特殊な制御アルゴリズム（適応型制御、fix PID/ソフト排気制御）など、様々な設計オプションが用意されており、SERIES 61.6を様々な真空システムへ簡単に組み込むことができます。
高真空バタフライコントロールバルブSERIES 61.6はアルミニウムとステンレス鋼から選択でき、接続用フランジの標準オプションはISO-KFとISO-Fです。また、お客様指定のフランジにも対応可能で、断熱材入りのヒータのような特殊な機能もご用意しております。ご要望に応じて各種FFKM/FKMエラストマーもご用意しております（標準はFKM Viton®）。
HVバタフライコントロールバルブSERIES 61.6の主な特徴
特徴：
- 優れた圧力制御および締切り
- 非常に高速な動作
- ローカル操作用のオンボードソフトウェア
- 過酷なプロセス条件でも信頼性の高いオペレーション
メリット：
- プロセスの制御性が向上
- 高い稼働率/制約を受けないパフォーマンス
- 低い運用コスト
- 技術データ
- ダウンロード
| サイズ |
DN 40 (")、DN 50 (2")、DN 63 (")、DN 80 (3")、DN 100 (4") |
|
|---|---|---|
| アクチュエータ | ステッピングモーター搭載一体型コントローラ, フィールドオリエンテッド 制御 (foc) | |
| ボディ素材 | 硬質アルマイド加工アルミニウムまたはステンレス鋼 | |
| 標準フランジ | ISO-KF、ISO-F | |
| 漏れ率（バルブ本体） | 硬質アルマイド加工アルミニウム ステンレス鋼 |
< 1 × 10-5 mbar ls-1 < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| 漏れ率（バルブシート） | 硬質アルマイド加工アルミニウム ステンレス鋼 |
< 1 × 10-4 mbar ls-1 < 1 × 10-9 mbar ls-1 |
| 圧力範囲 | 硬質アルマイド加工アルミニウム ステンレス鋼 |
< 1 × 10-6 mbar～1.2 bar (abs) < 1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs) |
| 第1回サービスまでのサイクル数1) | 圧力制御 シャットオフ |
200万 25万(DN 40～50) 10万(DN 63～100) |
| 許容温度 | バルブ本体 コントローラ |
≤ 120 °C 最大50 °C (推奨≤ 35 °C) |
| 材料 | アルミニウムバルブ本体/プレート ステンレス鋼バルブ本体/シャフト |
EN AW-6082 (3.2315) AISI 316L (1.4404または1.4435) |
| シール | プレート フィードスルー |
FKM FKM |
| フィードスルー | ロータリーフィードスルー | |
| 取り付け位置 | バルブシートはチャンバー側方向 |
1) 最大値は使用条件およびシール材によって異なる
