薄膜封止(CVD)
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2つの高性能バルブ技術の長所を融合
コントロール・締め切りバタフライバルブコンボユニットSERIES 95.3は、2つのバルブ技術の長所を1つのコンパクトなユニットに組み合わせたものです。SERIES 95.3では、スロットルバルブとして機能するバタフライ制御弁に、DN 50 mm (2”)まではアングルバルブ、DN 63 mm (2.5”)以上ではゲートバルブを組み合わせることで、優れた制御性とリークタイトな真空封止（1 x 10-9 mbar ls-1未満）を実現しています。このように組み合わせて設計することで、両方のバルブに1つのコントローラしか必要とせず、2つのバルブを別々に設置する際に通常であれば必要となるフランジやコネクタを追加する必要もないため、フットプリントが非常に小さくなるという利点が生まれます。
一体型の32ビット IC2圧力コントローラがバタフライプレートの位置を高速かつ正確に、とても細かく制御するので、広いコンダクタンス範囲で優れた制御性を発揮します。また同じコントローラが、一体型のアングルバルブやゲートバルブの封止機能も制御します。両方のバルブの移動サイクルを1つの移動プロファイルで同期させることで、スムーズな動作と最適な制御・封止機能を実現しています。遮断弁が閉じている間、このコンボバルブはバタフライプレートを規定の角度だけ開くことで、閉位置でのデッドボリュームを回避します。
プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のある高真空制御・遮断弁コンボユニットSERIES 95.3は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。
HVコントロール・締め切りバタフライバルブコンボユニットSERIES 95.3はステンレス鋼製（DN 50までのみ）とアルミニウム製で、サイズはDN 25～250 mm（1”～10”）、ISO-KFおよびISO-Fの標準接続用フランジを備えていますが、お客様指定のフランジにも対応可能です。標準のエラストマーはFKMですが、ご要望に応じて様々なFFKM/FKMエラストマーもご用意しております。
HVコントロール・締め切りバタフライバルブコンボSERIES 95.3の主な特徴
特徴：
- 最小限のフットプリント
- 取り付け作業の軽減
- 1つのコントローラで両方の一体型バルブを制御
- 差圧でバルブの開動作可能
メリット：
- 必要最小限の設置スペース
- 2つのバルブ技術の長所を融合
- 簡単な取り付け
- 低コスト
技術データ
| サイズ | DN 25 (1")、DN 40 (1½")、DN 50 (2")、 DN 63 (2½")、DN 80 (3")、DN 100 (4")、 DN 160 (6")、DN 200 (8")、DN 250 (10") |
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|---|---|---|---|
| アクチュエータ | ステッピングモーター搭載一体型圧力コントローラ | ||
| ボディ素材 | DN 25～50 | アルミニウムまたはステンレス鋼 | |
| 標準フランジ | ISO-KF、ISO-F | ||
| 漏れ率 | バルブ本体、バルブシート | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| 圧力範囲 | DN 25～50 DN 63～250 |
1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs) 1 × 10-7 mbar～1.2 bar (abs) |
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| 第1回サービスまでのサイクル数1) | 圧力制御 | 200万 | |
| 閉動作/開動作 | DN 25～50 DN 63～100 DN 160～250 |
200万 200 000 100 000 |
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| 許容温度 | バルブ本体 周囲温度 |
≤ 120 °C 最大50 °C (推奨≤ 35 °C) |
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| 取り付け位置 | 自由 |
1) 最大値は使用条件およびシール材によって異なる
