太陽電池薄膜の蒸着
ソーラーパネルメーカーは、最新の太陽電池の性能を構成する超薄膜を製造するために、さまざまなコーティングプロセス(CVD、ALD、MBE、PVDなど)を使用していま...
詳細情報ソフト排気用バルブの主な要求は、バルブ開放時に乱流が発生しないことです。乱流が発生すると、パーティクルの再浮遊などによりプロセスに悪影響を及ぼす可能性があるからです。さらに、バルブ開放時の高差圧による急激な圧力変化は、急激な凝縮効果を引き起こし、プロセスパラメータにも悪影響を及ぼす可能性があります。ソフト排気HVアングルバルブSERIES 29.0であればこれを回避できます。
SERIES 29.0のソフト排気制御機能は、クロージングプレートに設けられた調整可能なオリフィスによって実現されています。バルブカバー内の調整ホイールにより、ソフト排気制御効果を微調整できます。これにより、目的のプロセスパラメータに対する最適なキャリブレーションが可能になります。
ホイールには11個のポジションマークが付いているので、簡単かつ正確に調整とリセットを行えます。その結果、設定の再現性が高まるうえ、同じ設定で動作させたい他のバルブに設定をコピーすることもできます。
このシリーズにはインラインバルブバージョン(29.1)もあります。
プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 29.0は厳しい環境での使用にも耐え、「ソフト」な動きによる抜群の性能を証明してきました。
ソフト排気制御機能によるプラスの副次的効果として、パルス音の低減や回避も期待できます。その結果、より静かな生産/動作環境を実現しています。
ソフト排気用HVアングルバルブSERIES 29.0は、堅牢で信頼性の高いコア構造を採用しています。圧空アクチュエータは単動式なので、空気圧がかかっていない状態では、閉鎖スプリングがバルブを閉じます。 このシリーズのサイズはDN 25~80 mm(1”~3”)で、アルミニウム製とステンレス鋼製からお選びいただけます。
接続用フランジの標準オプションはISO-KFおよびISO-Kですが、お客様指定のフランジにも対応可能です。目視ポジションインジケーターとポジション出力シグナルが標準装備されています。
サイズ | DN 25 (1")、DN 40 (1½")、 DN 50 (2")、DN 63 (2½")、DN 80 (3")、 |
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アクチュエータ | 圧空作動式 | 単動シリンダースプリングによる閉動作(NC) | ||
ボディ素材 | アルミニウムまたはステンレス鋼 | |||
フィードスルー | ベローズ | |||
標準フランジ | ISO-KF、ISO-K | |||
漏れ率 | バルブ本体 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
バルブシート | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |||
圧力範囲 | DN 25~50 DN 63~80 |
1 × 10-8 mbar~1.2 bar (abs) 1 × 10-8 mbar~4 bar (abs) |
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プレートにかけ得る許容最大差圧 | 開方向 | ≤ 1.2 bar | ||
閉方向 | DN 25~50 DN 63~80 |
≤ 1.2 bar ≤ 4.0 bar |
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バルブを開けるときの許容最大差圧 | ≤ 1 bar | |||
許容温度 | バルブ本体 | ≤ 150 °C | ||
アクチュエータ | DN 25~50 DN 63~80 |
≤ 120 °C ≤ 80 °C |
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電磁弁 | ≤ 80 °C | |||
位置インジケーター | ≤ 80 °C | |||
材料 | メインバルブ本体:アルミニウム |
DN 25~63 DN 80 |
EN AW-6060 (3.3206)、EN AW-6061 (3.3211)、 EN AW-6063 (3.3206)、EN AW-6082 (3.2315) EN AC-42000 |
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メインバルブ本体:ステンレス鋼 | AISI 304 (1.4301)、AISI 316L (1.4404) | |||
ソフト排気制御バルブ本体 | EN AW-6060 (3.3206)、EN AW-6061 (3.3211)、 EN AW-6063 (3.3206)、EN AW-6082 (3.2315) |
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プレート | AISI 316L (1.4404、1.4435)またはAISI 304L (1.4306) | |||
ベローズ | AISI 316L (1.4404、1.4435)、AISI 316Ti (1.4571) | |||
シール | ボンネット、プレート | FKM (Viton®) | ||
取り付け位置 | 自由 | |||
電磁弁 | 24 VDC、2.5 W (ご要望による) | |||
位置インジケーター | 電圧 | 5~50 VAC/DC | ||
電流 | 5~100 mA | |||
バルブの開閉位置表示 | 機械的な目視位置表示付き |