スパッタリング
PVDスパッタリングは、ディスプレイ製造の中核となるプロセスです。例えば、バックプレーンのメタライゼーションでは、薄膜トランジスタの配線を成膜することが...
詳細情報
大容量の流れを伴う繊細な生産プロセスに
ソフト排気用バルブの主な要求は、バルブ開放時に乱流が発生しないことです。乱流が発生すると、ロードロック（LL）チャンバーのポンプダウン時に、粒子の旋回によって、悪影響を及ぼす可能性があるからです。さらに、バルブ開放時の高差圧による急激な圧力変化は、急激な凝縮効果を引き起こし、プロセスパラメータにも悪影響を及ぼす可能性があります。
ソフト排気用HVアングルバルブSERIES 29.2であればこれを回避できます。
SERIES 29.2のソフト排気制御機能は特に、可能な限り広いコンダクタンススペクトルで正確にキャリブレーションしなければならない大容量の流れに適しています。この高コンダクタンススペクトルは、2つの高真空アングルバルブを組み合わせ、メインバルブとバイパスバルブが1つのコンパクトなアセンブリで相互作用することによって実現しています。
ソフト排気制御の効果は、バルブの側面にある調整ホイールで微調整できます。これにより、非常に広いコンダクタンススペクトルにおいて、目的のプロセスパラメータに対する最適なキャリブレーションが可能になります。
ホイールには11個のポジションマークが付いているので、簡単かつ正確に調整とリセットを行えます。その結果、設定の再現性が高まるうえ、同じ設定で動作させたい他のバルブに設定をコピーすることもできます。
このように設計されたSERIES 29.2は、精密さとコンパクトな構造という点で、その高性能が際立っています。他の構造では、複数のバルブと追加の配管を使わなければ実現できないことを、SERIES 29.2は単一のソリューションで実現しているのです。
結露が起こりやすい、温度変化が起こるプロセスの場合は、SERIES 29.2にPTCヒータを内蔵できます。
特に太陽電池やディスプレイの製造のように、変化する圧力条件下で大容量のロードロックチャンバーを用いる、要求の厳しい用途において、SERIES 29.2シリーズは優れた「ソフト」な動作を証明してきました。
二重のソフト排気制御機能によるプラスの副次的効果として、インパルス雑音の低減や排除も期待できます。その結果、より静かな生産/動作環境を実現しています。
信頼性の高い堅牢なコア構造を採用するソフト排気用HVアングルバルブSERIES 29.2は、長期間のメンテナンスフリーを実現しています。万が一、メンテナンスが必要になっても、容易に、かつ短時間で行うことができます。
SERIES 29.2 DN 100 mmにはDN 25 mmのバイパス、DN 160 mmにはDN 25、DN 40、またはDN 63 mmのバイパスのように、メインバルブとバイパスバルブの組み合わせを変更できます。また圧空アクチュエータには、単動シリンダースプリングによる閉動作（NC）と複動式の2つのオプションがあります。SERIES 29.2はアルミニウムまたはステンレス鋼からお選びいただけます。
接続用フランジの標準オプションはISO-KFとISO-Kですが、お客様指定のフランジにも対応可能です。目視ポジションインジケーターとポジション出力シグナルが標準装備されています。
ソフト排気用HVアングルバルブSERIES 29.2の主な特徴
特徴：
- 調整可能なソフトポンプ機能
- 様々なメインバルブとバイパスバルブの組み合わせが可能
- ソフトスタートの設定を簡単に再現
- 高差圧でもフル機能を発揮
メリット：
- 乱流や結露を防止
- 正確なキャリブレーションによる高コンダクタンスレンジ
- 長期間メンテナンスフリー
- 短時間で簡単なメンテナンス
技術データ
| サイズ | DN 100 (4")、DN 160 (6") | ||
|---|---|---|---|
| アクチュエータ | 圧空作動式 | メインバルブ：複動式、ソフト排気制御バルブ：単動シリンダースプリングによる閉動作（NC） | |
| ボディ素材 | アルミニウムまたはステンレス鋼 | ||
| フィードスルー | シャフトフィードスルー | ||
| 標準フランジ | ISO-KF、ISO-K | ||
| 漏れ率 | バルブ本体 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| バルブシート | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
| 圧力範囲 | 1 × 10-7 mbar～2 bar (abs) | ||
| プレートにかけ得る許容最大差圧 | 開方向 | ≤ 1.2 bar | |
| 閉方向 | ≤ 2.0 bar | ||
| バルブを開けるときの許容最大差圧 | ≤ 1 bar | ||
| 許容温度 | バルブ本体 | ≤ 150 °C | |
| アクチュエータ | ≤ 80 °C | ||
| 電磁弁 | ≤ 80 °C | ||
| 位置インジケーター | ≤ 80 °C | ||
| 材料 | メインバルブ本体：アルミニウム | EN AC-42000 | |
| メインバルブ本体：ステンレス鋼 | AISI 304 (1.4301)、AISI 316L (1.4404) | ||
| ソフト排気制御バルブ本体 | EN AW-6060 (3.3206)、EN AW-6061 (3.3211)、 EN AW-6063 (3.3206)、EN AW-6082 (3.2315) |
||
| プレート | AISI 316L (1.4404、1.4435)またはAISI 304L (1.4306) | ||
| ベローズ | AISI 316L (1.4404、1.4435)、AISI 316Ti (1.4571) | ||
| シール | ボンネット、プレート | FKM (Viton®) | |
| 取り付け位置 | 自由 | ||
| 電磁弁 | 24 VDC、9.0 W （ご要望による） | ||
| 位置インジケーター | 電圧 | 5～50 VAC/DC | |
| 電流 | 5～100 mA | ||
| バルブの開閉位置表示 | 機械的な目視位置表示付き | ||
