1 × 10^-8 mbar～1.4 bar (abs)

62.0 HVアングルコントロールバルブ

高圧・高温ソリューション

製品の指定

高温・高圧プロセスでも信頼性の高い圧力制御と締め切り

アングルコントロールバルブ SERIES 62.0は、ALDやCVDなどの高圧・高温環境下での真空プロセスに理想的なバルブです。SERIES 62.0の最高動作温度は200 °Cで、並外れて精密な圧力制御性能を発揮。電動リニア駆動アクチュエータを採用することで、とても滑らかで繊細な制御による開閉サイクルを可能にし、最小のコンダクタンスを実現しています。またソフト排気制御機能を搭載しているので、従来のほとんどの圧空駆動アクチュエータで起こる圧力ピークを回避できます。

オンボードコントローラ（DN80とDN100では外部コントローラ）には、サービスポートの接続やPCUに接続するための各種インターフェースが用意されています。また、バルブコントローラの主要な機能として制御性能分析（CPA）アプリがあり、様々なプロセス条件でのバルブのパフォーマンスを経時的に分析できます。

SERIES 62.0には、停電時にバルブの気密性を確保するために、「閉」位置でのロック機能もあります。

プロセス条件を問わず、すでに何百もの利用実績のあるアングルコントロールバルブSERIES 62.0は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性とパフォーマンスを証明してきました。制御性とバルブパフォーマンスのモニタリングの点において、このバルブはアングルコントロールバルブのベンチマークとなっています。

アングルコントロールバルブSERIES 62.0のサイズはDN16～100mm（5/8"～4"）からお選びいただけます。バルブボディの材質はステンレス鋼で、オプションでニッケルコーティングも可能です。DN16～50mm（5/8"～2"）サイズのアルミニウムもお選びいただけます。ボンネットとプレートはFKMまたはFFKMでシールされており、フィードスルーのシールにはベローズを採用しています。

暖房ジャケットはオプションで、DN 80とDN100の場合は特別なベローズ暖房を追加オプションとしてお選びいただけます。

コントローラのインターフェースはRS232、RS485、Logic（アナログ/デジタル）、DeviceNet®、Profibus、EtherCATです。

HVアングルコントロールバルブ SERIES 62.0の主な特徴

特徴：

高温での動作
圧力ピークのない、非常に繊細な圧力制御
電動リニア駆動アクチュエータ
パーティクル発生を抑える一体型ソフトスタート
制御性能分析（CPA）アプリ

メリット：

抜群の圧力制御性
要求の厳しい条件下でも信頼性の高いパフォーマンス
システム統合が簡単
簡単メンテナンス
低コスト

技術データ

		DN 40 (1 1/2"), DN 50 (2")	DN 100 (4")
アクチュエータ		クローズドループ制御式ステッピングモーターによるリニア駆動
ボディ素材		アルミニウム、ステンレス鋼	ステンレス鋼
フィードスルー		ベローズ	ベローズ
標準フランジ		ISO-KF	ISO-K
漏れ率	バルブ本体	< 1 × 10^-9 mbar ls^-1	< 1 × 10^-9 mbar ls^-1
圧力範囲		< 1 × 10^-8 mbar～1.4 bar (abs)	< 1 × 10^-8 mbar～1.1 bar (abs)
差圧	開動作時のプレートにかけ得る値	≤ 1 bar	≤ 1 bar
第1回サービスまでのサイクル数¹⁾	絞り締切り	200万 100万	100万 200 000
許容温度	標準（バルブ/ベローズ）高温オプション（バルブ/ベローズ）コントローラ/アクチュエータ周囲温度	≤ 80 °C ≤ 200°C 最大50 °C (推奨≤ 35 °C)	≤ 80°C ≤ 200°C ≤ 50 °C (推奨≤ 35 °C)
材料	バルブ本体, プレートベローズ	アルミニウムEN AW-6082 (3.2315)、 AISI 316L (1.4404または1.4435) AISI 316Ti (1.4571)	ステンレス鋼316L (1.4404または1.4435) AISI 316Ti (1.4571)
シール	ボンネット、プレート	FKM (Viton®)	FKM (Viton®)
取り付け位置		自由	自由