1 × 10^-7 mbar～4 bar (abs)

21.1 ガスドージングバルブ

制御された、再現可能なガスの流れの導入、真空室用

製品の指定

信頼性の高い粗大および微小ガス投与用

最新式ガスドージングバルブの重要なパフォーマンス指標は、制御性、およびフロー設定を確実かつ正確に再現する能力です。21.1 ガス投与バルブシリーは、どちらも提供します。

2バージョン利用可能 - 粗大ガス投与用 (DN10 mm、½インチ)、微小ガス投与用(DN16mm、⅝インチ) - SERIES 21.1では、個別の閉および投与針較正機能により、定義されたフロー設定を失うことなく閉めることができます。
投与針較正ハンドホイールを使用して、針位置とフロー設定を要件設定に合わせて微細に調整可能です。この設定は、開閉機構が投与機構を独立して作動させるため、バルブの開閉中、維持されます。

プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 21.1は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。

ガスドージングバルブ SERIES 21.1は、手動ハンドホイールアクチュエーションによる粗大ガス投与用(DN10 mm、½インチ) バージョンと、微小ガス投与用 (DN16 mm、⅝インチ) バージョンがあります。粗大ガス投与バルブ体はアルミニウム、微小ガス投与バルブ体はステンレス鋼です。どちらにもISO-KFフランジがあります。微小ガス投与バルブでは、真空側フィルタの追加が可能です。

ガスドージングバルブSERIES 21.1の主な特徴

特徴：

幅広いフロー制御範囲
統合シャットオフバルブ
フロー設定を失うことなく閉じることが可能

メリット：

優れた信頼性および寿命
抜群の制御性
低コスト

技術データ

		粗大ガス投与バルブ	微小ガス投与バルブ
漏れ率	バルブ本体、バルブシート	1× 10^-8 mbar ls^-1	1× 10^-9 mbar ls^-1
圧力範囲		1 × 10^-7 mbar～4 bar (abs)	1 × 10^-7 mbar～2.5 bar (abs)
ガスの流れ、制御可能		40 mbar l/sz～1700 mbar l/s	5 × 10^-6 mbar l/s～1000 mbar l/s
デッドボリューム		-	0.032 cm³
許容温度		ベイクアウト ≤ 100 °C	操作 ≤ 80 °C ベイクアウト ≤ 100 °C
材料	バルブ本体	EN AW-6082 T6	AISI 304 (1.4301)
	アクチュエータ	プラスチック (POM)	プラスチック (POM)
	投与スリーブ	-	フッ素重合体
シール		FKM (Viton^®)	FKM (Viton^®)
取り付け位置		自由	自由
重量		0.2 kg/0.44 lbs	0.4 kg/0.88 lbs