サブファブシステム
腐食性ガス、研磨性ガス、有毒ガス、凝縮ガス、高濃度の副生成物など、サブファブのプロセスは、真空バルブの機能と信頼性に大きな影響を与える可能性があります...
詳細情報
どんな環境でも完璧に隔離
ゲートバルブSERIES 12.1には摩擦を排除して確実な密閉性を実現し、パーティクル発生を防ぐために開発された特殊な技術、VATLOCKテクノロジーを採用。
プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 12.1は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。今では、ターボ分子ポンプ との接続など、<10-7 mbarまでの圧力範囲における真空 隔離の標準的なソリューションとなっています。
頑丈な設計や直接取り付けオプションのほかに、分割型ボディによるメンテナンスの軽減と簡素化により、SERIES 12.1は標準的なあらゆる要求を容易に満たします。
アクチュエータや取り付け用フランジ、追加の真空ポートなどに様々な設計オプションが用意されているので、どのような真空用途にも簡単に統合できます。
SERIES 12.1の大きな特徴は、閉位置でロックされていることで、空気圧の異常による真空損失のリスクがないこと。
ゲートバルブSERIES 12.1には手動式と圧空作動式があり、電磁弁は内蔵式または外部取り付けからお選びいただけます。電磁弁の標準電圧は24 VDC ですが、それ以外もご要望に応じてお選びいただけます。バルブの位置は機械式または電気式のリミットスイッチで表示されます。
接続用フランジの標準オプションはISO-FとJISですが。お客様固有のフランジを統合することも可能で、レーザー用途のシャッター（シールなしのゲートとして）のような特殊な機能もご用意しております。
標準的なゲートのシーリングにはFKMのOリングシールが使用されていますが、ご要望に応じて他のシーリング材もお選びいただけます。
ゲートバルブSERIES 12.1の主な特徴
特徴：
- 実証済みの信頼性の高い設計
- 潤滑剤不要
- フェイルセーフ設計のVATLOCKテクノロジー
- 閉位置で機械的にロック
メリット：
- 信頼性の高いパフォーマンス
- クリーニングが容易な分割型バルブボディ
- 低コスト
技術データ
| サイズ | DN 63 (2½’’)、DN 80 (3")、DN 100 (4")、DN 160 (6")、 DN 200 (8")、DN 250 (10")、DN 320 (12") |
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|---|---|---|---|
| アクチュエータ | 圧空作動式 | 複動式 | |
| 手動式 | プッシュロッド式 | ||
| ボディ素材 | アルミニウム | ||
| フィードスルー | シャフト | ||
| 標準フランジ | ISO-F、JIS | ||
| 漏れ率 | バルブ本体 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| バルブシート | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
| 圧力範囲 | 1 × 10-7 mbar～1.6 bar (abs) (DN 63 – 200) 1 × 10-7 mbar～1.2 bar (abs) (DN 250 – 320) |
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| 差圧 | ゲート部 | ≤ 1.6 bar (DN 63 – 200) ≤ 1.2 bar (DN 250 – 320) |
|
| 開動作時 | ≤ 30 mbar | ||
| 第1回サービスまでのサイクル数 | 200 000 (DN 63 – 100) 100 000 (DN 160 – 320) |
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| 許容温度 | バルブ本体 | ≤ 120 °C | |
| アクチュエータ | ≤ 80 °C | ||
| 電磁弁 | ≤ 50 °C | ||
| 位置インジケーター | ≤ 80 °C | ||
| 加熱および冷却速度 | ≤ 30 °C h-1 | ||
| 材料 | バルブ本体 |
EN AW-5083 (3.3547)、 |
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| 機構 | AISI 304 (1.4301) (DN 63 – 100) EN AW-6082 (3.2315) (DN 160 – 320) |
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| シール | ボンネット、ゲート | FKM (Viton®) | |
| 取り付け位置 | 自由 | ||
| 電磁弁 | 24 VDC、5.4 W（ご要望による） | ||
| 位置インジケーター：接触評価 | 電圧 | ≤ 250 VAC | ≤ 50 VDC |
| 電流 | ≤ 2 A | ≤ 1.2 A | |
| バルブの開閉位置表示 | 機械的な目視位置表示付き | ||
