質量分析・ガス分析
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詳細情報
信頼性の高い隔離
極高真空オールメタルアングルバルブ SERIES 57.0は、超高真空用途と極高真空用途、高温環境と低温環境、および最大108 Gyの放射線に対して信頼性の高い隔離を実現するように設計されています。
このオールメタルアングルバルブは最大のコンダクタンスになるよう設計されており、VATRING密着シーリング技術が用いられています。この動的オールメタルシーリングシステムの特徴は、一貫した確実な密閉および絶え間ない閉力です。これにより、比較的低い軸力で高い密閉力が可能になります。シーリングパートナーはステンレス鋼で、弾性的にのみ変形します。
このバルブは開位置では450 °C、閉位置では350 °Cの温度までの熱に耐えます。また10,000サイクルの寿命を想定して設計・テストされています。
プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のある57.0シリーズは厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。
アクチュエータや取り付け用フランジ、追加の真空ポートなどに様々な設計オプションが用意されているので、バルブをどのような真空用途にも簡単に統合できます。
複動式
単動シリンダースプリングによる閉
動作 (NC)
主な特徴は、他のご愛顧いただいているVATオールメタルゲートバルブでも使用されているVATRINGシーリングシステムです。絶え間ない密閉力があるため、このバルブは手動式アクチュエータだけでなく、圧空作動式複動アクチュエータや圧空作動式スプリング閉鎖アクチュエータとともに使用されており、圧空作動式としては世界で唯一のオールメタルアングルバルブです。
バルブのサイズはDN 63、100、160 mm（57.0）からお選びいただけます。
標準フランジはCF-R（CF-R16からCF-R63まで）で、回転式フランジは所定の位置に固定されています。その他にも様々なオプションをお選びいただけます。
極高真空オールメタルアングルバルブSERIES 57.0の主な特徴
特徴：
- 最大コンダクタンス
- VATRINGオールメタルシール密着シーリング
- 温度および放射線に対する優れた耐性
- 圧空アクチュエーションのオプションも豊富
メリット：
- 極限極高真空の条件下でも信頼性の高いパフォーマンス
- 特定期間の寿命でメンテナンス不要
- 低コスト
技術データ
| サイズ | DN 63 (2½")、DN 100 (4")、DN 160 (6") | |||
|---|---|---|---|---|
| アクチュエータ | 手動式 | 六角ヘッド | ||
| 圧空作動式 | 単動シリンダースプリングによる閉動作（NC）または複動式 | |||
| ボディ素材 | ステンレス鋼 | |||
| フィードスルー | ベローズ | |||
| 標準フランジ | CF-R | |||
| 漏れ率 | バルブ本体 | < 1 × 10-10 mbar ls-1 | ||
| バルブシート | < 1 × 10-10 mbar ls-1 | |||
| 圧力範囲 | 極高真空～5 bar (abs) | |||
| 差圧 | ゲート部 | ≤ 5 bar | ||
| 開動作時 | ≤ 1 bar | |||
| 第1回サービスまでのサイクル数 | 10 000 | |||
| 焼き出し温度 | バルブ本体 | ≤ 450 °C (バルブ開) / ≤ 350 °C (バルブ閉) | ||
| 手動アクチュエータ | DN 63 – 160 | ≤ 300 °C (バルブ開閉) | ||
| 圧空アクチュエータ | ≤ 150 °C (単動シリンダースプリングによる閉動作) ≤ 200 °C (複動式) |
|||
| 電磁弁 | ≤ 80 °C | |||
| 位置インジケーター | ≤ 80 °C (オプション: 200 °C) | |||
| 加熱および冷却速度 | ≤ 60 °C h-1 | |||
| 材料 | バルブ本体 | AISI 316L (1.4404、1.4435) | ||
| 機構 | AISI 316L (1.4404、1.4435) | |||
| ベローズ | AISI 316L (1.4435) | |||
| シール | ボンネット、ゲート | 金属（銀メッキ） | ||
| 取り付け位置 | 自由 | |||
| 電磁弁 | 24 VDC、2.5 W (ご要望による) | |||
| 位置インジケーター：接触評価 | 電圧 | ≤ 50 VAC/DC | ||
| 電流 | 80 °C: ≤ 1.2 A | 200 °C: ≤ 1.0 A | ||
| バルブの開閉位置表示 | 機械的な目視位置表示付き | |||
