24.2 密閉保護付きアングルバルブ

優れた稼働時間、優れたパフォーマンス

活性化された腐食性の高いプロセスガスにさらされる真空バルブ、特に洗浄ガス用にリモートプラズマ源を隔離する真空バルブは、著しく摩耗する可能性があります。以前は、このバルブのメンテナンスや交換のために生産がひんぱんに中断されていました。それはもうありません。

24.2アングルバルブには、耐摩耗性の新しい基準があります。実際に使用した場合、稼働時間は既存のソリューションに比べて平均で2倍長くなることが実証されており、さらに長くなることもあります。

プラズマ洗浄の応用に最適化された閉鎖機構を備えた24.2アングルバルブは、耐久性が非常に高く、メンテナンスの必要性があまりなく、正確に動作する、使い勝手の良い遮断弁です。

プラズマ洗浄の分野で使用されるほとんどの真空バルブの弱点は、ゲートシールです。これには、生成される腐食性の高いプラズマガスやフッ素ラジカルへの耐久性がありません。24.2アングルバルブには、閉鎖ゲートの代わりに閉鎖ベルを使用し、この問題を解決しています。

ベル形状により、シールをプラズマ流外側の深いシール溝に配置できるため、早期摩耗に対する保護が向上します。ベル形状により、フロー誘導の再設計が可能になります。最適化されたプラズマフロー設計により、従来のアングルバルブに比べてコンダクタンスが40%増加します。これにより、ボトルネックや乱流によるエネルギー損失が減少し、プラズマフローの電力収量が増加します。

新たに開発されたシャフトフィードスルー設計により、フィードスルーシールが過度の熱応力から保護されます。さらに、特殊なシャフトフィードスルーカセットを採用しており、閉鎖ベルとフィードスルーが熱的に分離され、直接的な熱伝導が防止されます。さらに、ハウジングと閉鎖ベル間の隙間寸法は、プラズマの浸透を防ぎ、その影響を最小限に抑えるよう、正確に設定しています。

24.2アングルバルブは、プラズマ洗浄の要求の厳しいさまざまなプロセスで、その性能が実証されています。モジュール設計により、既存のシステムに簡単に後付けすることもできます。

24.2アングルバルブは、アルミ製、サイズDN 16で、複動式空気圧アクチュエータを備えています。他のサイズおよびインラインバージョンも、ご要望に応じてご提供できます。

バルブは受動空気冷却されるため、水冷は不要です。オプションとして、能動空気冷却をご利用いただけます。アクチュエータと同じ圧縮空気を使用して動作させることができます。受動空気冷却およびオプションの能動空気冷却装置により、温度感受性のあるシール面を直接、均一に、効果的に保護します。

標準のFKM（Viton®）シール材に加えて、オプションの高温FFKM（Kalrez®）を、動的シールおよび静的シールに使用すると、能動冷却なしで耐摩耗性をさらに高めることができます。シール材は、ご要望に応じてカスタマイズ可能です。

24.2アングルバルブには、KFフランジが標準装備されています。顧客固有のフランジは、オプションでご利用いただけます。電気絶縁用に設計されたプラスチック製のフランジクランプは、電流伝播に対する追加の保護アクセサリーとしてご利用いただけます。

24.2アングルバルブは、耐摩耗性の高さに加えて、簡単に素早くメンテナンスできるように特別に設計されています。 4本のネジをゆるめるだけで、静的シール、動的シール、カセットなど、関連するすべての部品を少しの手順で簡単に交換できます。メンテナンスキットを使用すると、信頼性の高いメンテナンス手順を素早く簡単に行なうことができます。

24.2 密閉保護付きアングルバルブの主な特徴

特徴：

• プラズマに最適化されたフロー設計
• シール保護
• 統合冷却
• モジュール設計

メリット：

• 長期間にわたってメンテナンス不要
• 最大化されたコンダクタンス
• 最小化されたプラズマエネルギー損失
• 低コスト
• 短時間で簡単なメンテナンス