薄膜コーティング
薄膜のコーティングには、CVD、PVD、MOCVD、PECVDなど、さまざまなプロセスが用いられます。すべてのプロセスに共通しているのは、アルゴン雰囲気下や真空下など...
詳細情報
あらゆる要件に対応
アングル/管内バルブの重要なパフォーマンス指標は、信頼性と可変性です。21.4 小型アングル/管内バルブシリーズはどちらも兼ね備えています。プロセス条件を問わず、すでに何千もの利用実績のあるSERIES 21.4は厳しい環境での使用にも耐え、その抜群の信頼性を証明してきました。電磁アクチュエータにより、特に圧縮空気へのアクセスのない応用で密閉と排気に最適です。アングル設計でも管内設計でも利用可能で、幅広いフランジ接続のアクセサリーおよびアダプタが付属し、ほぼどの要件にも適合します。
21.4 小型アングル/管内バルブは、信頼性の高い頑丈な中核構造を基礎として、ISO-KFフランジのあるDN5、DN4、8、10用アダプタ、OD¼インチおよびOD6のパイプコネクタで利用可能です。電磁アクチュエータのサイクルは200万回です。
小型アングル/管内バルブSERIES 21.4の主な特徴
特徴：
- 簡単なインストール
- 高差圧に対する抵抗
- 長期メンテナンス不要
メリット：
- 抜群の信頼性および寿命
- コンパクトな設計で設置面積が小さい
- 低コスト
技術データ
| 漏れ率 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
|---|---|---|
| 圧力範囲 | 電磁アクチュエータ | 1 × 10-8 mbar～10 bar (abs) |
| 第1回サービスまでのサイクル数 | 電磁アクチュエータ | 200万 |
| 許容温度 | 電磁アクチュエータ | ≤ 40 °C |
| 材料 | 本体、ベローズ、プレート | AISI 304 |
| シール | FKM (VITON®) | |
| フィードスルー | 電磁アクチュエータ | Oリング密閉シャフトフィードスルー |
| 取り付け位置 | 自由 |
