窓、オリフィス、フィルターフォイルインサートのオプションは、以下の真空バルブシリーズでご利用いただけます:

01.0 ミニUHVゲートバルブ
10.8 UHVゲートバルブ
15.0 FV/ 15.1 HV/ 15.2 UHV遮断ゲートバルブ
16.2 HV振子式遮断バルブ

01.0ミニUHVゲートバルブ用オプション

ミニUHVゲートバルブ01.0に採用されているMONOVATシール技術により、この真空バルブゲートには窓、オリフィス、フィルターフォイルを取り付けることができます。いずれも、バルブをシステムから取り外さずに、バルブハウジングを開くだけで簡単に取り付けられます。窓、オリフィス、フィルターフォイルは、Oリングとねじ込み式のリテーナリングの間に挟みます。オプション注文時に各バルブに付属する特別な取り付け工具を使用すれば、簡単に交換可能です。

01.0ミニUHVゲートバルブ用オプション

01.0窓付きミニUHVゲートバルブ

バルブゲートに窓インサートが取り付けられています。窓ガラスはOリングとねじ込み式リテーナリングで挟まれており、必要に応じて簡単に交換できます。

01.0窓付きミニUHVゲートバルブ
01.0窓付きミニUHVゲートバルブ 寸法図

a断面 A-Af窓ガラス
bバルブゲートgねじ込み式リテーナリング
c窓用エラストマーシール Ø21.95 x 1.78hゲートの厚さ 4 mm
dガラスの直径 Ø24 ±0.2iガラスの厚さ 1.5 ±0.1
eガラスの可視範囲直径 Ø21 ±0.2j組立工具用穴
窓仕様ガラスの可視範囲直径: 21.0±0.2
外径: 24.0±0.2
ガラスの厚さ: 1.5±0.1
標準窓材質:ホウケイ酸ガラスまたはサファイアガラス(その他の材料はお客様にてご用意ください)
オプション ゲートのブランキングプレート(窓ガラスの代わり)
バルブ2個を溶接
バルブ3個を溶接
スペアパーツエラストマーシール
窓ガラスを固定するリテーナリング
組立工具
ホウケイ酸ガラス
サファイア窓ガラス
ブランキングプレート
リークテスト 各バルブは窓ガラスを取り付けた状態でリークテストを行います。

01.0 オリフィス付きミニUHVゲートバルブ

ゲートにオリフィスを設けることにより、流れを制御できます。このオプションは通常、2つのバルブを溶接して使用します。

標準オリフィス(0.05~15mm)

オリフィスは、窓ガラスと同様、 O リングとねじ込み式リテーナリングで挟まれています。これは流れの制御を可能にするもので、通常は隔離機能を実現するため、別のバルブと組み合わせて使用されます。両方のバルブを溶接した構成を採用することで、追加のシール要件を回避できます。

01.0 オリフィス付きミニUHVゲートバルブ - 標準オリフィス
01.0 オリフィス付きミニUHVゲートバルブ 寸法図 - 標準オリフィス
a断面 A-Aeオリフィス径 24.0±0.2
bバルブゲートfゲートの厚さ 4 mm
cオリフィス用エラストマーシール Ø21.95 x 1.78gオリフィスの厚さ
dねじ込み式リテーナリング Ø24 ±0.2h組立工具用穴
オリフィス仕様サイズ: 0.05 to 15 mm
外径: 24.0±0.2
厚さ: 1.5±0.1
標準材質: AISI 301
オプション標準オリフィスを取り付けるためのゲート開口(オリフィスは含まれません)
ブランキングプレート(オリフィスの代わり)
2個または3個のバルブを溶接
スペアパーツエラストマーシール
標準オリフィス用リテーナリング
組立工具
ブランキングプレート
オリフィス: 0.05 to 15 mm
リークテスト各バルブはブランキングプレートを取り付けた状態でリークテストを行い、シートの気密性を確認します。リークテスト後、ブランキングプレートを取り外し、お客様固有のオリフィスを取り付けます。

小オリフィス(0.01~0.1mm)

オリフィスはM4の押さえネジとゲートの間に挟まれています。オリフィスとゲートの間にシールはありません。このため、オリフィスの代わりにブランキングプレートを使用した場合、シートでのバルブの気密性は低くなります。オリフィスは3番のドライバーで交換可能です。

01.0 オリフィス付きミニUHVゲートバルブ - 小オリフィス
01.0 オリフィス付きミニUHVゲートバルブ 寸法図 - 小オリフィス
a断面 A-A
bバルブゲート
cゲートの厚さ 4 mm
dオリフィス径 3.00/-0.05mm
e押さえネジ M4
オリフィス仕様サイズ: 0.01 to 0.1 mm
外径:3.00/-0.05mm
厚さ: 0.3 mm
標準材質: AISI 304
オプション小オリフィスを取り付けるためのゲート開口(オリフィスは含まれません)
ゲートのブランキングプレート(オリフィスの代わり)
2個または3個のバルブを溶接
スペアパーツエラストマーシール
小オリフィス用リテーナリング
押さえネジ M4
オリフィス 0.01~0.1 mm
ブランキングプレート
リークテスト リークテストはオリフィスなしの標準バルブ構成、または2つのバルブ(1つは隔離機能、もう1つはオリフィス機能)を溶接した構成で行われます。

01.0 フィルタ―フォイル付きミニUHVゲートバルブ

標準フィルターフォイル

バルブにはフィルターフォイルは付属しません。こちらを別途購入して取り付ける必要があります。

01.0 フィルタ―フォイル付きミニUHVゲートバルブ
01.0 フィルタ―フォイル付きミニUHVゲートバルブ 寸法図
a断面A-Afフォイル用スペース 0.2...0.4 mm
bバルブゲートgフォイルフィルター用リテーナリング
cホイル用エラストマーシール Ø21.95 x 1.78hゲートの厚さ 4 mm
dフォイル径 Ø25 ±0.2iフォイルの厚さ 0.2~0.4 mm±0.1±0.1
eフィルター箔の可視範囲直径 Ø21 ±0.2j組立工具用穴
フォイルフィルターフィルター箔の可視範囲直径: 21.0±0.2mm
外径: 25.0±0.2mm
厚さ:0.2~0.4mm
オプションフォイルフィルターを取り付けるためのゲート開口(フォイルフィルターは付属しません)
2個または3個のバルブを溶接
スペアパーツエラストマーシール
フォイルフィルター用リテーナリング
組立工具
リークテスト各バルブのリークテストは、ブランキングプレートと窓用リテーナリングを取り付けた状態で行います。フォイルフィルター用リテーナリングは、リークテスト終了後にのみ取り付けられます。

LUXEL(VF111) フィルターフォイル

LUXEL(VF111)フィルターフォイルシリーズは、軟X線アプリケーションに複数の利点をもたらします。このフィルターはゲートにねじ込まれており、可視光を退け、軟X線散乱線を除去し、X線/EUVバンドパスを目的の領域に制限するように設計されています。バルブは必ず、LUXELフィルターなしの状態でお届けします。フィルターの取り付けには、バルブまたはリテーナリングをルクセ ル社に送付いただく必要があります。LUXELフィルター付きのリテーナリングは、ボンネットシールの取り換えや、バルブの取り外しをせずに交換可能です。窓付きの設計オプションと比較すると、違いはリテーナリングのみです。ゲート、O リング、組立工具に違いはありません。

LUXEL(VF111) フィルターフォイル
LUXEL(VF111) フィルターフォイル 寸法図
a断面 A-AfLUXELフィルター
bバルブゲートgLUXELフィルター用リテーナリング
cフォイル用エラストマーシール Ø21.95 x 1.78hゲートの厚さ 4 mm
dフォイル径 Ø20.6 ±0.1 ±0.05iLUXELフィルターの厚さ 1.74 0-0.1
eフィルター箔の可視範囲直径 Ø15.9 ±0.2j組立工具用穴
フォイルフィルター仕様詳細については、 LUXELウェブサイトをご覧ください。
オプションLUXELフィルターを取り付けるためのゲート開口(フィルターは付属しません)
2 個または 3 個のバルブを溶接
スペアパーツエラストマーシール
LUXEL フィルター用リテーナリング
組立工具
リークテスト各バルブのリークテストは、ブランキングプレートと窓用リテーナリングを取り付けた状態で行います。LUXELフィルター用リテーナリングは、リークテスト終了後にのみ取り付けられます。

10.8 UHVゲートバルブオプション

10.8 窓付きUHVゲートバルブ

10.8 UHVゲートバルブはVATLOCKシール技術を採用しています。ゲート内に窓を組み込むために、板バネが窓の光の透過を妨げないよう、シール機構が若干変更されています。

10.8 窓付きUHVゲートバルブ
10.8 窓付きUHVゲートバルブ 寸法図
DN 63DN 100
Ø a70100
Ø b46±0.250±0.2
Ø c4043
Ø dM48x1.5M52x1.5
e2121
f4±0.14±0.1
g3.33.3
h99
10.8 窓付きUHVゲートバルブ 寸法図
DN 160DN 200
Ø a150200
Ø b75±0.297±0.2
Ø c6890
Ø d90113
e2126.5
f6±0.16±0.1
g3.73.7
h812
窓の仕様 窓の最大サイズは VATLOCK 機構によって規定されます。この点で、バルブ DN 250 と DN 320には窓を付けることができません。

標準窓材質:ホウケイ酸塩またはサファイア(その他の材質はお客様にてご用意ください)

ガラスの可視範囲直径 C
バルブ DN 63: 40 mm
バルブ DN 100: 43 mm
バルブ DN 160: 68 mm
バルブ DN 200: 90 mm

ガラスの厚さ
バルブ DN 63 – 100: 4 mm
バルブ DN 160 – 250: 6 mm

バルブの取り付け位置:自由
スペアパーツ窓交換用工具 DN 63
窓交換用工具 DN 100
リークテスト 各バルブはブランキングプレートと窓リテーナリングを取り付けた状態でリークテストを行います。

15.0/ 15.1 HV/ 15.2 UHV遮断ゲートバルブ用オプション

15.0/ 15.1 HV/ 15.2 UHV遮断ゲートバルブ(窓、オリフィスまたはフォイルフィルター付き)

シリーズ15 UHV遮断真空ゲートバルブは、01.0ミニUHVゲートバルブと同様、MONOVATシール技術を採用しています。この点で、同じ技術仕様が適用されるため、01.0 ミニ UHV ゲートバルブの仕様をご参照ください。窓、オリフィス、フォイルの最大サイズは、一般的にゲートの直径によって規定されます。

15.0/ 15.1 HV/ 15.2 UHV遮断ゲートバルブ(窓、オリフィスまたはフォイルフィルター付き)
15.0/ 15.1 HV/ 15.2 UHV遮断ゲートバルブ(窓、オリフィスまたはフォイルフィルター付き)
15.0/ 15.1 HV/ 15.2 UHV遮断ゲートバルブ(窓、オリフィスまたはフォイルフィルター付き)寸法図
aMONOVATゲート
bリテーナリング
c
dOリング

16.2 HV振子式遮断バルブのオプション

16.2 HV 窓付き振子式遮断バルブ

16.2 シリーズは、大きな窓の取り付けが可能な振り子バルブ設計を採用しています。例えば、DN250 のバルブには 200 mm の窓を付けることができます。また、ゲートに複数の窓を設けることも可能です。窓は、熱膨張時のガラスと金属の接触も防いでくれるO リングで密閉されます。

16.2 HV 窓付き振子式遮断バルブ
16.2 HV 窓付き振子式遮断バルブ 寸法図
a ゲート
bネジ
cフランジ
d
e, fシール
バルブシート側
窓仕様
バルブサイズ DN窓材質ガラスの可視範囲直径
"A"1 mm
ガラスの厚さ
mm
200ホウケイ酸ガラス
サファイア
130
170
6
5
250ホウケイ酸ガラス
サファイア
130
200
6
6
320ホウケイ酸ガラス
サファイア
150
250
8
6
350ホウケイ酸ガラス
サファイア
150
250
8
6
400ホウケイ酸ガラス
サファイア
150
250
8
6
500ホウケイ酸ガラス
サファイア
その他ご相談ください
その他ご相談ください

1 上記の仕様には、可能な限り大きなサイズの窓が記載されています。ご要望があれば、より小さな窓にも対応いたします。窓の重量により、バルブを任意の位置に取り付けることはできません。