VATメカトロニクス真空制御バルブ用の一体型または外部圧力コントローラは、幅広い構成オプションに対応しています。

メリット:

  • 短いレスポンスタイム
  • 迅速かつ正確な圧力制御
  • 正確なバルブ位置制御
  • 自動制御最適化のための学習アルゴリズム
  • センサー信号のデジタル/アナログ入力
  • ローカル制御/リモート制御を選択可能
  • 一体型ディスプレイでローカルステータスを表示

自動制御最適化のための学習アルゴリズム

学習機能により、圧力コントローラーは、定義された制限内で、プロセス条件に合わせて自力でバルブ制御を調整します。これにより、速度、コンダクタンス、振動や衝撃の回避など、バルブ制御の有効性が向上します。

LEARN機能を操作(スタートアップ時に一度だけ実施)することで、関連するシステムパラメーターが自動的に決定されます。適応型アルゴリズムにより、圧力レギュレーターはガス流量やガス種の変化に絶えず適応し、常に最適な圧力制御を保証します。

位置制御モードでは、バルブプレートを任意の位置に移動させることができます。ステータスや位置は、4桁のディスプレイで表示されます。

VAT圧力コントローラは、Logic、RS232、RS485、DeviceNet®、Ethernet、Profibus、CC-LinkまたはEtherCATインターフェースを介して外部PCで制御することも可能です。そのため、VATではWindows用の専用の設定、制御、診断ソフトウェアを提供しており、PCをコントローラに接続すると自動的にロードされます。

また、RS232インターフェースとフィールドバスは、バルブを開閉する際のデジタル信号入力にも使用できます。さらに、デジタル出力には、「閉」と「開」の信号があります。

ロジックインターフェースによる制御は、デジタルとアナログ信号で行うことができます。

圧力コントローラはいずれも特定の真空バルブ用に設計されているため、まず対応するバルブタイプを特定し、そのバルブタイプで利用できるコントローラを確認する必要があります。


技術データ

61.3、61.6、61.7、95.3 シリーズ用一体型コントローラ

61.3、61.6、62.8、95.3 シリーズ用一体型コントローラ
接続レイアウト

使用可能なインターフェース:

  • Logic
  • RS232
  • RS485
  • DeviceNet®
  • Ethernet
  • Profibus
  • CC-Link
  • EtherCAT
消費電力
- コントローラ+モーター
- 停電時オプション(PFO)
- センサー電源 (SPS)
24 V DC (±10%) @ 0.5 V pk-pk
最大 40 W
最大 10 W
最大 36 W
センサー電源24 V DC または ±15 V DC
センサー入力
- 信号電圧
- 入力抵抗
- 分解能
- サンプリングレート

0 – 10 V DC 圧力に比例
Ri = 100 kΩ
0.23 mV
10 ms
制御精度5mVまたは設定値の0.1%
(いずれか高い方を適用)
位置分解能バルブの種類により異なる
保護システムIP 30
許容温度
- バルブ本体

- コントローラ

≤ 120 °C (シリーズ 61.6、95.3)
≤ 150 °C (シリーズ 61.3、61.7)
最大50 °C (推奨≤ 35 °C)

62.0、64.8、67.0 シリーズ用一体型コントローラ

62.0、62.8、64.8、67.0 シリーズ用一体型コントローラ
接続レイアウト

使用可能なインターフェース:

  • Logic
  • RS232
  • RS485
  • DeviceNet®
  • Profibus
  • EtherCAT
消費電力
- コントローラ+モーター
- 停電時オプション(PFO)
- センサー電源 (SPS)
24 V DC (±10%) @ 0.5 V pk-pk
最大 150 W
最大 10 W
最大 40 W
センサー電源24 V DC または ±15 V DC
センサー入力
- 信号電圧
- 入力抵抗
- 分解能
- サンプリングレート

0 - 10 V DC 圧力に比例
Ri = 100 kΩ
0.23 mV
2 ms
制御精度5mVまたは設定値の0.1%
(いずれか高い方を適用)
位置分解能バルブの種類により異なる
保護システムIP 40
許容温度
- バルブ本体

- コントローラ

≤ 80 °C (シリーズ 62.0、64.8)
≤ 120 °C (シリーズ 67.0)
最大50 °C (推奨≤ 35 °C)

64.2 シリーズ用一体型コントローラ

64.2 シリーズ用一体型コントローラ
接続レイアウト

使用可能なインターフェース:

  • Logic
  • RS232
  • RS485
  • DeviceNet®
  • Ethernet
  • Profibus
  • CC-Link
  • EtherCAT
消費電力
- コントローラ+モーター
- 停電時オプション(PFO)
- センサー電源 (SPS)
24 V DC (±10%) @ 0.5 V pk-pk
最大 54 W
最大 10 W
最大 36 W
センサー電源24 V DC または ±15 V DC
センサー入力
- 信号電圧
- 入力抵抗
- 分解能
- サンプリングレート

0 - 10 V DC 圧力に比例
Ri = 100 kΩ
0.23 mV
10 ms
制御精度5mVまたは設定値の0.1%
(いずれか高い方を適用)
位置分解能バルブの種類により異なる
保護システムIP 20
許容温度
- バルブ本体
- コントローラ

≤ 150 °C
最大50 °C (推奨≤ 35 °C)

65.3 シリーズ用一体型コントローラ

65.3 シリーズ用一体型コントローラ
接続レイアウト

使用可能なインターフェース:

  • Logic
  • RS232
  • RS485
  • DeviceNet®
  • Ethernet
  • Profibus
  • CC-Link
  • EtherCAT
消費電力
- コントローラ+モーター
- 停電時オプション(PFO)
- センサー電源 (SPS)
24 V DC (±10%) @ 0.5 V pk-pk
最大 50 W
最大 10 W
最大 36 W
センサー電源24 V DC または ±15 V DC
センサー入力
- 信号電圧
- 入力抵抗
- 分解能
- サンプリングレート
0 - 10 V DC 圧力に比例
Ri = 100 kΩ
0.23 mV
10 ms
制御精度5mVまたは設定値の0.1%
(いずれか高い方を適用)
位置分解能呼び径による
保護システムIP 20
許容温度
- バルブ本体
- コントローラ

≤ 120 °C
最大50 °C (推奨≤ 35 °C)

65.5 シリーズ用一体型コントローラ

65.5 シリーズ用一体型コントローラ
接続レイアウト

使用可能なインターフェース:

  • Logic
  • RS232
  • RS485
  • DeviceNet®
  • Profibus
  • EtherCAT
消費電力
- コントローラ+モーター
- 停電時オプション(PFO)
- センサー電源 (SPS)
24 V DC (±10%) @ 0.5 V pk-pk
最大 110 W
最大 10 W
最大 40 W
センサー電源24 V DC または ±15 V DC
センサー入力
- 信号電圧
- 入力抵抗
- 分解能
- サンプリングレート

0 - 10 V DC 圧力に比例
Ri = 100 kΩ
0.23 mV
2 ms
制御精度5mVまたは設定値の0.1%
(いずれか高い方を適用)
位置分解能呼び径による
保護システムIP 40
許容温度
- バルブ本体
- コントローラ

≤ 120 °C
最大50 °C (推奨≤ 35 °C)

電気接続

接続タイプ
電源シリーズ 61.3、61.6、61.7、95.3、62.0、67.0、64.8、
65.3、65.5
64.2
DB-15オス

ワイドミュラー SL 3.50オス
センサーセンサー入力
センサー電源
DB-15メス
インターフェースLogic, RS232, RS485
Ethernet (Logic I/O搭載)
DeviceNet® (Logic I/O搭載)
Profibus (Logic I/O搭載)
CC-Link (Logic I/O搭載)
CC-Link (Logic I/O搭載) 64.2
EtherCAT (Logic I/O搭載)
DB-25 メス
RJ 45
Micro-style M12 オス
DB-9 メス
DB-9 メス
5極ネジ端子
2  RJ 45
Logic I/Oシリーズ 61.3、61.6、61.7、95.3、62.0、67.0、64.8、
65.3、65.5
64.2
DB-15オス

Binder M8メス
サービスコネクタ:下記を除くすべてのコネクタ
64.2
USBタイプB
DB-15 HDメス

追加オプション

センサー電源(SPS)±15V DC
停電時オプション(PFO)定義された方法でバルブを自動的に開閉
バルブクラスターマスタースレーブモードで複数のバルブを同期制御


アクセサリー

  • Control Performance Analyzer(CPA)ソフトウェア
  • サービスボックス
  • コントロールパネル
  • 各種インターフェース用コネクタキット
  • 電源ユニット(入力AC100~240V、出力DC24V/4A)

校正、制御、解析

PC経由

VATが提供するCPAソフトウェアを使用したPCによるバルブ校正・制御は、非常にシンプルで直感的です。利用できる機能は以下の通りです:

  • セットアップ
  • 操作
  • モニタリング
  • 診断
  • 圧力挙動のグラフィカルな視覚化
  • 制御プロファイルのプログラミング
  • 制御シーケンスの記録
  • データ解析とプロセス最適化のための各種オプション

サービスボックス・コントロールパネル経由

操作を簡素化するため、校正、制御、解析は、標準の19インチラックに組み込まれたサービスボックスとコントロールパネルからも行うことができます。オプションはPCの場合と同等ですが、コンパクトなデザインとディスプレイの簡素化により、データの可視化には制限があります。