Less is More: コンボ真空バルブには多くの理由があります。

プロセスチャンバーや分析チャンバー内のプロセス条件を完璧にコントロールするためには、多くの種類のコントロールバルブやアイソレーションバルブが必要です。従来、これらは個別のバルブとして設置されていました。これはスペースを取り、設置時間が長くなり、システム全体が大きくなり、校正も難しくなるといったデメリットをもたらします。

主な問題の1つは、個別のバルブの数が増えると、それに応じてフランジやパイプの接続部の数も増えることです。これらの接続はすべて、リークのリスクを高めます。単純に、真空システム内でリークの可能性がある場所が増えるからです。つまり、接続数が多ければ多いほど、システム全体のクリティカルポイントが増えるのです。

忘れてはならないことがあります。それぞれのバルブ自体も空間を占めており、もちろんそこも真空にして制御しなければなりません。ここで言うデッドボリュームとは、組み立てやバルブ自体に必要なだけで、プロセスには必要のない容積のことです。ボリュームが増えると、プロセスが動作するジオメトリが変化してしまいます。例えば、乱流域や温度差のあるゾーンが生じます。バルブの数が少なければデッドボリュームも少なくて済みます。

解決策：複数の機能を組み合わせて一体化

VATは、複数のバルブ機能を1つのユニットにまとめるというソリューションを追求しています。つまり、これらの機能を限られたスペースにまとめるのです。このようなコンボバルブは、デッドボリュームと接続部の数、つまり潜在的なリークポイントの両方を減らします。

システムメーカーにとっても、コンボバルブの利点は他にもあります。1つ1つのバルブを取り付けるのではなく、ユニット全体を取り付けるだけなので、組み立て時間が短くなります。さらに、ユニットの設置スペースも少なくて済み、システム全体をよりコンパクトにすることができます。また、個々のバルブを校正する必要がないため、操作が非常に簡単になります。プロセス制御システムに組み込む必要があるのは、このユニットだけです。

VATでは、コンボバルブを標準サイズ、標準組み合わせで提供しています。これにより、このようなソリューションを設計するために通常必要とされる開発時間が不要になります。その一例が、VATの95.3 HVコントロール＆アイソレーションバルブ・コンボユニットです。2つの技術の優れた点を組み合わせて、優れた制御性とハーメチックアイソレーションを実現しています。これは、スロットルバルブとして機能するコントロールバタフライバルブと、アングルバルブやゲートバルブを組み合わせることで実現しています。コントローラは1台で十分であり、2台のバルブを設置する際に必要となるフランジやコネクタの追加も不要です。

標準品とカスタマイズ品、どちらをお好みですか？

標準的なソリューションは容易に入手できますが、時には特別なものが必要になることもあります。VATでは、より多くのバルブと様々な機能を組み合わせたカスタムソリューションも製造しています。これらのマニホールド真空バルブソリューションは、ご要望に応じてカスタマイズされます。

マニホールドでも、標準的なソリューションでも。「部品数の面でのメリットは明らかです」とVATの設計エンジニアLukas Gächterは断言します。お客様からかなりのスペースとコストの削減による喜びの声を頂いています。建築物の容積とバルブの数は、30〜40％削減できます。設計エンジニアは数多くの経験から最適なソリューションを議論し、提案することを心待ちにしています。