VATは、新機能の追加や最新のIT規格に対応するために、VAT真空コントロールバルブに使用されているコントローラ技術を継続的に改良しています。しかし、VATのすべての真空バルブに搭載されている現行のIC1コンポーネントは、すべての機能を搭載すると80％の容量に近づき、新世代のICが必要になりました。

VATが自社開発した新世代のIC2は、同じタスクをわずか5％の負荷で実行します。演算能力が向上したことで、新しいフィルターやディレイの補正機能、>1mbarの制御機能、性能表示機能の強化など、新しい機能が可能になりました。

16ビットから32ビットへ

「IC2コントローラ世代への移行の主な目的は、演算能力を16ビットから32ビットに拡張することでした」と、コントロールバルブ担当プロダクトマネージャーのSimon Näfは説明します。

IC2テクノロジーへの移行は、処理能力の向上だけでなく、以下のような特徴ももたらします。

  • 処理速度の向上により、動作の応答時間が短縮される
  • より精密でスケーラブルな応答性の高い制御
  • センサー処理能力の向上
  • 現行のプロセスコントロールユニット（PCU）技術との統合が容易になる
  • 信号および動作解析の向上

VATは、継続的なハードおよびソフトウェアのアップデートを提供し、お客様が拡張されたコントローラの機能と能力をすぐに活用できるようにします。

新しいコントローラ技術への継続的な移行により、IC2コンポーネントは2022年までにVATのすべてのコントロールバルブに順次組み込まれていきます。IC1モデルの供給は、2028年まではスペアパーツ用途として対応を行います。

以前の性能レベルを維持

Simon Näfは次のように述べています。「我々はすでに5,000台以上の新しいIC2コントローラを世界中の顧客の現場に設置し、稼働させています。"お客様にとって最も重要な問題は、従来の性能要件を維持したまま新技術にシームレスに移行することです。」

最新のVAT振子式コントロールバルブ（シリーズ65.3）の最初の導入事例は、半導体製造のドライエッチングプロセスにおける圧力制御とアイソレーション機能に使用されました。お客様は、IC2コントローラの性能が前世代と変わらないことを喜ばれました。改良された振子式コントロールバルブは、すでに200台以上が使用されています。

VAT シリーズ65.3

「制御がオープンループからクローズドループになったことで、バルブの開閉動作がより速くなりました」とSimon Näfは付け加えます。「速度の向上に加えて、クローズドループ制御では、顧客の生産工程で指定された動作プロファイルに従って動作を実行するのに必要なだけのエネルギーを使用します。オープンループでは、単にフルパワーモードを使用していました。"

IC2コントローラでアップグレードされた最新のVATコントロールバルブにより、VATは、顧客が他のスマートVATバルブ機能と連携して新技術を活用することを期待しています。

Simon Näfは、「最新のVATコントロールバルブの "スマート "な機能と、新しいIC2コンポーネントの強化されたコンピューティングパワーを組み合わせることで、"スマート "なアプリケーションをさらに進化させることができるでしょう」とコメントしています。