積極的な洗浄剤の使用は、要件を満たすための伝統的なソリューションです。VATは、環境にやさしい代替品に注目し、攻撃性のある物質を削減・排除するプログラムを開始しました。

VAT社は、革新的で高性能な真空バルブソリューションで知られており、世界中で需要が多い真空プロセスで使用されています。半導体製造は、有機物や無機物を問わず、あらゆる汚染を避けなければならない高純度の製造工程によって決定されています。半導体の表面についたわずかなゴミが、半導体の故障や不良を招き、生産品質が低下させ、コストを増加させることになります。そのため、製造工程においていかなる物理的な中性粒子も放出しない高純度の部品のみが使用されています。

そのためVAT社では、高純度の要件を満たすために、製造工程で特殊な洗浄プロセスを採用しています。これが、標準的なソリューションとの決定的な違いです。「VAT社の顧客の多くは、汚染のない環境を必要とする生産工程を行っているため、高純度の洗浄に関する専門知識はVAT社が備えている重要な強みです。」と純度担当責任者であるChristian Schelle氏は説明します。

しかし、最も効果的な洗浄剤である希薄な酸、塩基、表面活性物質の多くは非常に攻撃的であり、労働安全や環境保護の観点から、その取り扱いにはいくつかの課題があります。

効果的だが、過激である必要性

これは、VAT社が世界各地の拠点で採用しているISO 14001にも規定されています。リスク、労力、そして最終的にはコストを削減するために、VAT社は、全拠点で代替洗浄プロセスを開発するプログラムを開始しており、最初の開発はすでに実施されています。

無色透明で可燃性の有機溶剤であるアセトンは、非常に最適な洗浄剤ですが、直接触れたり大量に摂取したりすると毒性があります。VAT社は、洗浄工程におけるアセトンの使用量を削減しただけでなく、油脂などの汚れに対応した残留物のない新開発の高性能洗浄剤への完全移行に成功しました。このクリーナーは、ハロゲン系や芳香族系の溶剤を含まないため、より安全に使用することができます。

過激の少ない洗浄剤による洗浄

VAT社では、洗浄剤の移行だけでなく、真空部品をより環境に優しい方法で洗浄するために、革新的な洗浄方法を模索しています。初期のパイロットテストでは、そのようなプロセスの変更が従来の洗浄方法と同様に効果的であるという結果が出たとChristian Schelleは説明します。例えば、効果は低いが安全性の高い洗浄剤を使って工程を繰り返すだけで、VAT社は強力な化学薬品を使った場合と同じ結果を得ることができます。また一方の方法は、異なる洗浄方法を適切な組み合わせと頻度で組み合わせるという結果も得ました。両者とも、以前の過激な物質を使った場合と同様の効果が得られます。

継続的な改善による向上

VAT社の環境プログラムマネージャーであるHeinz Märkli氏は、社内にいる他の化学・環境専門家とともに、これらの新しいプロセスの開発と導入を調整しています。「もちろん、これは継続的なプロセスです。」と彼は強調します。今後もVAT社は、過激な物質の使用をさらに減らし、職場の安全性をさらに高める方法を模索していきます。