真空トランスファーバルブ

真空トランスファーバルブは、真空システムの重要なコンポーネントです。高真空状況を維持しながら、異なるチャンバー間の基板移送を制御するように設計されています。半導体製造や研究などのアプリケーションに不可欠です。

真空トランスファーバルブを選ぶ時は、以下の要因を考慮してください。

応用の要件：真空度、材料の適合性、動作サイクルなど、工程の特定のニーズ。

バルブ本体の材質：動作環境と工程要件に基づいて、アルミニウム、ステンレス鋼、または硬質陽極酸化のオプションなどの材質を選択します。

フランジとシール：真空の完全性を維持するために、バルブに、お使いのシステムに適したフランジとシールがあることを確認します。

耐久性とメンテナンス：長期的な信頼性と性能を確保するために、バルブの耐久性とメンテナンスの容易さを考慮します。

カスタマイズのオプション：特殊なコーティングや材料など、独自のアプリケーションのニーズを満たすため、カスタマイズ機能を備えたバルブを探します。セルフロックシールや、メンテナンス時の簡単な分解など、カスタマイズ可能なゲート機能を備えたバルブを考慮します。

アクチュエータの種類：制御と精度を最適にできるよう、手動、空気圧、電気など、アプリケーションに適したアクチュエータを選択します。

位置インジケーター：バルブの状態を精密に監視および制御できるよう、バルブに位置インジケーターが含まれていることを確認します。

VAT真空トランスファーバルブは、その精度、信頼性、高度なエンジニアリングで知られています。主な特徴：

高性能：高真空条件と最小限の粒子生成を確保し、高度な製造工程の厳しい要求を満たすように設計されています。

カスタマイズ：VATは、さまざまな本体の材質やフランジなど、特定のアプリケーションのニーズに合わせた、カスタマイズソリューションをご提供します。

耐久性：硬質陽極酸化アルミなど、高品質の材料で製造しているため、最も要求の厳しい環境でも長期間性能が持続します。

総合的なサービスとサポート：VATは、最適なバルブ性能を確保できるよう、スペアパーツやメンテナンスサービスなど、幅広いリソースとサポートをご提供します。