真空トランスファードア
トランスファードアは、トランスファバルブとは異なり、一方の真空チャンバーのみを密閉し、ローディングや処理を行います。そのため、ドアの反対側は常に大気圧下にあります。すべてのVATソリューションは、それぞれのアプリケーションに合わせて調整されます。
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