真空アイソレーションバルブ
真空アイソレーションバルブのよくある質問
真空遮断バルブとは
真空遮断バルブとは、真空システムの一部を他の部分から隔離するよう設計された、真空バルブの一種です。このバルブには、隔離された空間にガスや空気が出入りするのを防ぎ、その空間の真空レベルを維持する役割があります。
真空遮断バルブの仕組みについて
真空遮断バルブは、気体や空気の流れを物理的に遮断する機構を利用しています。例えば、純粋な流量調整の機能を持つ真空バルブとは対照的です。この機構は用途によって変わります。ゲートを流路内に押し込んだり、回転させたり、揺らしたりすることで、遮断を実現します。高性能な真空遮断バルブの大きな特徴は、非常に速い開閉速度でも、ほとんど振動や摩擦なしでこれを実現することです。真空遮断バルブは通常、アルミニウムまたはステンレス鋼製で、エラストマーシールが施されています。高温、放射線、腐食性媒体などの過酷な使用条件に耐えるため、完全に金属で作られる場合もあります。また、超高真空や極高真空の用途には、エラストマーシールとして、シール性能や耐久性に優れたハードオンハードシールが施されたオールメタル遮断バルブが推奨されます。
真空遮断バルブの一般的な用途は？
真空遮断バルブは、半導体製造、真空コーティング、研究開発など、制御された真空環境を必要とする多くの産業で、幅広い用途に使用されています。
真空遮断バルブを選択する際に特に考慮すべきポイント
真空遮断バルブを選ぶ際には、真空バルブ本体やシール機構の材質、バルブサイズや流量、必要な真空度、アプリケーションにおける特別な要件などを考慮することが重要です。
真空遮断バルブのメンテナンスとトラブルシューティングの方法は？
真空遮断バルブのメンテナンスとトラブルシューティングは、メーカーの指示とガイドラインに従うことが大切です。定期的なメンテナンスを行うと、漏れや詰まりなどのトラブルが起きにくくなります。トラブルシューティングでは、真空バルブ部品の摩耗や損傷のチェック、必要に応じて部品の洗浄や交換、バルブが適切に機能しているかのテストを行います。ご不明な点がある場合は、真空システムのエキスパートにご相談ください。