真空振り子式バルブ

真空弁を回転させることにより開口を制御するタイプのアイソレーション弁もしくは圧力制御弁。非常に精密なコンダクタンス制御により、プロセスアプリケーションにおける圧力制御では代表的なソリューションです。コンパクトなデザイン、低振動、スムーズな開閉、プロセス内のパーティクルの抑制が特徴です。