21.1 1 × 10-7 mbar～4 bar (abs)

ガスドージングバルブ

制御された、再現可能なガスの流れの導入、真空室用

22.0 1 × 10-7 mbar～5 bar (abs)

ダイヤフラムバルブ

気体と液体向けの多目的ソリューション

59.0 超高真空～10 bar (abs)

超高真空オールメタル可変リークバルブ

極限超高真空の要件にも対応

62.7 1 × 10-8 mbar～2 bar (abs)

ガスドージングバルブ

真空チャンバー内のガス流を確実に制御