ファストクロージング/ビームストッパーバルブ
リーク発生時に制御不能な圧力上昇やプロセスエリアへの汚染ガスの流入を防ぐ特殊なクラスの保護バルブです。ビームストッパーバルブは、加速器システムにおいて、粒子やエネルギーの放射を迅速に遮断することができます。
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