真空オールメタルバルブ
不活性な物理的挙動に対する要求が非常に高い超高真空および超超高真空アプリケーション用。バルブのプロセス接触部には、いかなる種類のエラストマーも使用されていません。再現性のある "ハードオンハード "のメタルシール、非常に高いベークアウト温度が可能、高い耐放射線性がVATオールメタルバルブの特徴です。
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