宇宙の構成要素を探す - VATの真空バルブで
VATは、世界最大の欧州素粒子物理学研究所であるCERNと長期的な協力関係にあります。VATの専門チームが開発したセクターバルブは、CERNの大型ハドロン衝突型加速器（LHC）内の超高真空（UHV）状態を維持するのに役立っています。 (読了目安：約3分)
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SENTECHは、「ベルリンで最もスマートな地区」といわれるアドラースホーフの科学・ビジネス地区に拠点を置いています。この中小企業は、ドイツ再統一後、旧科学アカデミーのすぐ近くで、東西パートナーシップから生まれました。当初は計測機器を製造していましたが、次第にプラズマプロセス技術が中枢となりました。現在では、プラズマを用いて表面を加工するすべてのプロセスにおいて、豊富な経験を持つ専門機械メーカーとなっています。
紙よりもはるかに薄いコーティング
SENTECHは、誘導結合型プラズマを使用しています。このプロセスでは、誘導コイルによってエネルギーが気体に伝達され、それによってイオン化し、分子や原子が気体からプラズマ状態に変化します。つまり、液体でも固体でもなく、もはや気体でもない、いわゆる非古典的な凝集状態を想定しています。プラズマは非常に反応性の高い状態であり、表面をエッチングしたり、層を蒸着したりすることができます。その後、使用済みの物質や反応生成物を除去しなければなりませんが、制御された状態で行われ、これらはすべて真空下で行われます。
SENTECH Frank Schmidt博士によると、「基本的には2つのプロセスが実行されます。1つは塗布、もう1つは層の除去です。塗布に関しては、もう一つの特別な工程であるALD法があります。ここでは、プロセスを非常に精密に制御し、コーティングが原子層ごとに行われるようにします。」と述べており、原子層による原子層がすべてを物語っています。コーティングは、原子の単層で構成されているほど薄いのです。
また、プラズマを使用しているため、高温ではなく常温で処理することができます。このようにして、私たちの現代文化を支えるさまざまな製品が生み出されています。例えば、マイクロチップやレーザーから、スマートフォンの位置を特定するセンサーなどが挙げられます。加えて、プラズマプロセス技術は、私たちの未来を形作る上で大きな役割を果たしています。「屋根の上に見えるすべてのソーラー技術は、もはや薄膜技術なしでは実現できません。」と、SENTECHの専門家は説明します。
プラズマプロセス技術に不可欠な役割を果たすバルブ
プラズマや表面処理の製造には、すでに真空技術とバルブが欠かせません。固体物理学者のSchmidt氏が言うように、製造室（リアクター）からガスを繰り返し送り出す真空技術も、リアクターにガスを繰り返し送り込む計量技術も、正確にコントロールする必要があります。そのためには、スロットルバルブ、シャットオフバルブ、定量用の特殊バルブなど、厳しい条件を満たすバルブが必要です。
SENTECH Instrumentsは、学術的な市場に加えて、フォトニクス、センサー技術、高周波部品などの中規模の生産現場への製品の販売を拡大しています。製品は、研究開発と生産の両面で使用されています。このことは、パートナー企業の選択にも影響を与えます。ほとんどがモジュール式小シリーズのシステムは、柔軟性と品質の面で高い期待に応えなければなりませんが、SENTECHは常に最初から顧客の技術を可能にします。
VAT Deutschland GmbHのセールスマネージャーであるRainer Handke氏は、VAT社がSENTECKのバルブソリューションの可用性と柔軟性を常に念頭に置いていることを確認しています。同社は、急速に成長するプラズマプロセス技術市場において、SENTECKを確実にサポートするバルブパートナーであると考えています。「もちろん、非常に優れた品質を維持しながらです」とHandke氏は強調します。
SENTECHでは、様々な種類のバルブを使用しており、VAT社の豊富な製品ラインナップを活用しています。例えば、02.1シリーズのトランスファーバルブ、61.3シリーズのコントロールバルブ、ソフトポンプ機能を備えた29.0シリーズのアングルバルブなど、特に圧力パルスや乱流のないバルブ制御が可能なバルブが使用されています。また、加熱可能なバルブやトランスファードアも使用されています。「VAT社の製品を購入すれば間違いなしですね 。」と、Frank Schmidt氏はまとめます。むしろ、それが重要であり、問題はありません。品質は常に正しく、現在どこにでも起こっている部品不足があったとしても、VAT社は時間通りに納品してくれるので、積極的にアピールできることでしょう。
