精度と安定性

薄膜コーティングプロセス用のVAT真空バルブは、プロセス条件が変化しても、正確で安定した動作ができるように設計されています。主な特徴としては、低コンダクタンスレベルでもガス流量を正確に制御し、残留ガスや微粒子の排出を最小限に抑え、特定のプロセス要件に合わせて必要な真空バルブを最適に構成できるモジュラーデザインを採用しています。

VATの真空バルブソリューションが薄膜コーティングプロセスの課題をどのように解決するかについては、以下の製品からお選びください。

対象製品

HV角型ゲートバルブL-VAT

04.2

1 × 10-9 mbar～1.2 bar (abs)

HV角型ゲートバルブL-VAT

ロードロック、プロセスチャンバーの真空封止用

高真空角型インサートL-MOTION

05.3

1 × 10-9 mbar～1.1 bar (abs)

高真空角型インサートL-MOTION

高速で高精度、腐食性の高いプロセスに最適

大型角型ゲートバルブ／インサートTWINVAT

06.1

大型角型ゲートバルブ／インサートTWINVAT

ディスプレイ生産システム向けの高性能

大型角型ゲートバルブ／インサートTWINVAT

06.3

大型角型ゲートバルブ／インサートTWINVAT

ディスプレイ生産システム向けの高性能 - 大気圧バージョン

大型角型ゲートバルブ／インサート／ドアSOLVAT

06.6

大型角型ゲートバルブ／インサート／ドアSOLVAT

ディスプレイ、PV、大型コーティングシステムで高いパフォーマンスを発揮

大型角型ゲートバルブ／インサート／ドアFLAPVAT

06.8

大型角型ゲートバルブ／インサート／ドアFLAPVAT

ディスプレイ、PV、大型成膜装置に最適

搬送用高真空ドア/インサートLINVAT

07.0

搬送用高真空ドア/インサートLINVAT

EFEMおよびロードロックチャンバーの大気側の真空封止に最適

UHVゲートバルブ

10.8

1 × 10-10 mbar～1.2 bar (abs)

UHVゲートバルブ

UHV隔離の標準バルブ

ゲートバルブ

12.1

1 × 10-7 mbar to 1.6 bar (abs)

ゲートバルブ

真空防止の標準バルブ

高真空ゲートバルブ

14.0

高真空ゲートバルブ

標準的な高サイクル真空隔離用

遮断ゲートバルブ

15.0

1 × 10-7 mbar～1 bar (abs)

遮断ゲートバルブ

並外れた低衝撃・低パーティクル性能

HV遮断ゲートバルブ

15.1

1 × 10-8 mbar～1 bar (abs)

HV遮断ゲートバルブ

並外れた低衝撃・低パーティクル性能

UHV遮断ゲートバルブ

15.2

1 × 10-10 mbar～1 bar (abs)

UHV遮断ゲートバルブ

並外れた低衝撃・低パーティクル性能

大型HV振子式遮断バルブ

16.8

1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs)

大型HV振子式遮断バルブ

大容量の真空流や過酷な条件に対応するコンパクトなデザイン

VATTERFLYバルブ

20.3

1 × 10-8 mbar～2 bar (abs)

VATTERFLYバルブ

汚染された腐食性の高い真空プロセスでも信頼性の高い隔離

ガスドージングバルブ

21.1

1 × 10-7 mbar～4 bar (abs)

ガスドージングバルブ

制御された、再現可能なガスの流れの導入、真空室用

ベントバルブ

21.3

1 × 10-8 mbar～1 bar (abs)

ベントバルブ

真空システムの排気制御

小型アングル/管内バルブ

21.4

1 × 10-8 mbar～10 bar (abs)

小型アングル/管内バルブ

圧縮空気がない密閉と排気でも妥協のない信頼性

アングルバルブ

24.4

1 × 10-7 mbar～5 bar (abs)

アングルバルブ

大容量フローでも妥協のない信頼性

インラインバルブ

24.5

1 × 10-7 mbar～5 bar (abs)

インラインバルブ

大容量フローでも妥協のない信頼性

HVシリンダーバルブ（アングルバージョン)

25.0

1 × 10-8 mbar～3 bar (abs)

HVシリンダーバルブ（アングルバージョン)

過酷なプロセス環境のための最大コンダクタンス

高真空アングルバルブ

26.4

1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)

高真空アングルバルブ

妥協のない柔軟性と信頼性

高真空管内バルブ

26.5

1 × 10-8 mbar to 5 bar (abs)

高真空管内バルブ

妥協のない信頼性

UHVアングルバルブ

28.4

5 × 10-10 mbar～5 bar (abs)

UHVアングルバルブ

圧倒的な低アウトガス性能

ソフト排気用HVアングルバルブ

29.0

1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs)

ソフト排気用HVアングルバルブ

初期排気、ベント時の振動抑制（DN 25～80）

ソフト排気用HVインラインバルブ

29.1

1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs)

ソフト排気用HVインラインバルブ

初期排気、ベント時の振動抑制

超高真空オールメタル可変リークバルブ

59.0

超高真空～10 bar (abs)

超高真空オールメタル可変リークバルブ

極限超高真空の要件にも対応

HVバタフライコントロールバルブ

61.3

1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs)

HVバタフライコントロールバルブ

高速で正確なダウンストリーム圧力制御

HV締切り機能付バタフライコントロールバルブ

61.6

1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs)

HV締切り機能付バタフライコントロールバルブ

高速で正確に圧力を制御、締切り

HVバタフライコントロールバルブ

61.7

HVバタフライコントロールバルブ

極めて低いコンダクタンスで抜群の制御性を実現

HVアングルコントロールバルブ

62.0

1 × 10-8 mbar～1.4 bar (abs)

HVアングルコントロールバルブ

高圧・高温ソリューション

ガスドージングバルブ

62.7

1 × 10-8 mbar～2 bar (abs)

ガスドージングバルブ

真空チャンバー内のガス流を確実に制御

関連製品

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関連製品

フランジ接続とシール