これらの機器の多くは、測定環境として高真空や超高真空を使用しています。ここでは、真空の精密な制御に加えて、真空の高純度化が特に重要となります。理化学機器用のVAT真空バルブは、この点を特別に考慮しています。

理化学機器用のVAT真空バルブソリューションは、通常、特定の用途に合わせてオーダーメイドされます。主な特徴としては、厳しいプロセス環境、特に小型の機器での高い耐久性と長寿命、メンテナンスがほとんど不要なコンパクトで省スペースな設計、高純度および超高純度の真空環境で使用できる最高レベルのパーティクルフリーなどがあります。

科学計測機器の特定の分野でどのような真空バルブソリューションを提供しているかについては、以下の分野から選択してください。