精度と安定性

薄膜蒸着プロセス用のVAT真空バルブは、プロセス条件が変化しても、正確で安定した動作ができるように設計されています。主な特徴としては、低コンダクタンスレベルでも正確なガス流量制御、残留ガスや微粒子の排出量の最小化、特定のプロセス要件に合わせて必要な真空バルブを最適に構成できるモジュラーデザインなどがあります。

VATの真空バルブソリューションが、薄膜蒸着の様々な問題にどのように対応できるかについては、以下の製品からお選びください。

対象製品

大型角型ゲートバルブMONOVAT

02.4

大型角型ゲートバルブMONOVAT

第6世代までのディスプレイおよびPV生産システムで発揮される優れたパフォーマンス

ロールツーロール角型ゲートバルブMONOVAT

02.7

ロールツーロール角型ゲートバルブMONOVAT

ウェブ/金属箔生産システムで発揮される高性能

大型角型ゲートバルブ／インサート／ドアSOLVAT

06.6

大型角型ゲートバルブ／インサート／ドアSOLVAT

ディスプレイ、PV、大型コーティングシステムで高いパフォーマンスを発揮

大型角型ゲートバルブ／インサート／ドアFLAPVAT

06.8

大型角型ゲートバルブ／インサート／ドアFLAPVAT

ディスプレイ、PV、大型成膜装置に最適

大型切換ドアL-VAT

07.7

大型切換ドアL-VAT

ディスプレイおよびPV生産システムの優れたパフォーマンス

ゲートバルブ

12.1

1 × 10-7 mbar to 1.6 bar (abs)

ゲートバルブ

真空防止の標準バルブ

HV振子式遮断バルブ

16.2

1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs)

HV振子式遮断バルブ

エバポレーターやスパッタリング用途でのポンプアイソレーションに最適

ソフト排気用HVアングルバルブ

29.0

1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs)

ソフト排気用HVアングルバルブ

初期排気、ベント時の振動抑制（DN 25～80）

ソフト排気用HVインラインバルブ

29.1

1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs)

ソフト排気用HVインラインバルブ

初期排気、ベント時の振動抑制

HVバタフライコントロールバルブ

61.3

1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs)

HVバタフライコントロールバルブ

高速で正確なダウンストリーム圧力制御

関連製品

エッジ溶接メタルベローズ