したがって、信頼性、安全性、可用性が、サブファブプロセスで使用される真空バルブの決定的な成功基準となります。世界中のサブファブに何千台もの真空バルブを設置してきた経験に基づき、包括的で実績のあるVAT真空バルブのポートフォリオは、サブファブのあらゆる要件に対応しています。

サブファブシステムの問題を解決するためのVAT真空バルブソリューションの詳細については、以下の製品からお選びください。

対象製品

新設計WEDGE方式高真空ゲートバルブ

09.1

1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs)

新設計WEDGE方式高真空ゲートバルブ

副生成物を多く含むガス流の隔離に適した柔軟なソリューション

保護リング付き高真空ゲートバルブ

09.1

1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs)

保護リング付き高真空ゲートバルブ

副生成物量を非常に多く含むガス流の隔離に適した保護ソリューション

HVゲートバルブWEDGE方式

09.2

1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HVゲートバルブWEDGE方式

サブファブ環境における 真空ポンプ隔離の標準ソリューション

ゲートバルブ

12.1

1 × 10-7 mbar to 1.6 bar (abs)

ゲートバルブ

真空防止の標準バルブ

HVシリンダーバルブ（アングルバージョン)

25.0

1 × 10-8 mbar～3 bar (abs)

HVシリンダーバルブ（アングルバージョン)

過酷なプロセス環境のための最大コンダクタンス

HVシリンダーバルブ（インラインバージョン)

25.1

1 × 10-8 mbar～3 bar (abs)

HVシリンダーバルブ（インラインバージョン)

過酷なプロセス環境のための最大コンダクタンス

HVシリンダーバルブ (3/2wayバージョン)

25.2

1 × 10-8 mbar～3 bar (abs)

HVシリンダーバルブ (3/2wayバージョン)

過酷なプロセス環境のための最大コンダクタンス

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