用途に応じて圧空または電動で作動するモジュール式の制御弁や遮断弁のソリューションや、さまざまなデザインオプションは、真空滅菌用のVAT真空バルブのポートフォリオの特徴です。

VATの真空バルブソリューションがどのように真空滅菌の課題を解決できるかについては、以下の製品からお選びください。

対象製品

ミニゲートバルブ

01.2

1 × 10-7 mbar～1 bar (abs)

ミニゲートバルブ

汎用型遮断バルブ

新設計WEDGE方式高真空ゲートバルブ

09.1

1 × 10-8 mbar～1.2 bar (abs)

新設計WEDGE方式高真空ゲートバルブ

副生成物を多く含むガス流の隔離に適した柔軟なソリューション

HVゲートバルブWEDGE方式

09.2

1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

HVゲートバルブWEDGE方式

サブファブ環境における 真空ポンプ隔離の標準ソリューション

ゲートバルブ

12.1

1 × 10-7 mbar to 1.6 bar (abs)

ゲートバルブ

真空防止の標準バルブ

高真空ゲートバルブ

14.0

高真空ゲートバルブ

標準的な高サイクル真空隔離用

保護リング付き高真空ゲートバルブ

17.2

1 × 10-8 mbar～2 bar (abs)

保護リング付き高真空ゲートバルブ

過酷な環境でも高い信頼性

大型ゲートバルブ

19.0

1 × 10-7 mbar～1 bar (abs)

大型ゲートバルブ

大口径が必要な現場の標準

ガスドージングバルブ

62.7

1 × 10-8 mbar～2 bar (abs)

ガスドージングバルブ

真空チャンバー内のガス流を確実に制御

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